[發明專利]激光掃描裝置

有效

• 申請號: 201910725611.5
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN112346239B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 趙飛;曾理
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G02B27/09
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光掃描裝置，其特征在于，包括：掃描微鏡芯片，封裝殼以及封裝器件；

所述掃描微鏡芯片包括掃描微鏡和激光器；

所述封裝殼固定于所述掃描微鏡芯片上，與所述掃描微鏡芯片共同構成中空結構，其中，所述激光器位于所述中空結構中；

所述封裝器件位于所述中空結構中，固定于所述封裝殼上，用于將所述激光器發射的光束進行準直和反射，將輸出的光發射至所述掃描微鏡；

所述封裝殼還包括光窗，所述掃描微鏡位于所述中空結構外，所述封裝器件輸出的光束通過所述光窗到達所述掃描微鏡；第一封裝模塊為多個，所述第一封裝模塊包括所述封裝殼、所述封裝器件以及所述激光器，多個所述第一封裝模塊位于所述掃描微鏡的同一側，且高度各不相同，越靠近所述掃描微鏡的所述第一封裝模塊高度越低。

2.根據權利要求1所述的掃描裝置，其特征在于，所述封裝器件包括：光束整形裝置和第一反射鏡；

所述光束整形裝置，用于將所述激光器發射的光束進行準直，再發送給所述第一反射鏡；

所述第一反射鏡，用于將準直后的光反射至所述掃描微鏡。

3.根據權利要求1所述的掃描裝置，其特征在于，所述封裝器件包括：光束整形裝置和第一反射鏡；

所述第一反射鏡，用于將所述激光器發射的光束反射至所述光束整形裝置；

所述光束整形裝置，用于對接收的光進行準直，將準直后的光發送至所述掃描微鏡。

4.根據權利要求2或3所述的掃描裝置，其特征在于，入射至所述第一反射鏡的光束的傳播方向與所述掃描微鏡芯片存在夾角。

5.根據權利要求2或3所述的掃描裝置，其特征在于，入射至所述第一反射鏡的光束的傳播方向與所述掃描微鏡芯片垂直。

6.根據權利要求5所述的掃描裝置，其特征在于，所述封裝器件還包括第二反射鏡，用于將所述激光器發射的光束的傳播方向改變為與所述掃描微鏡芯片垂直。

7.根據權利要求6所述的掃描裝置，其特征在于，所述第二反射鏡，固定于所述封裝殼上；或通過在所述掃描微鏡芯片的表面刻蝕定位槽的方式固定在所述掃描微鏡芯片上。

8.根據權利要求1所述的掃描裝置，其特征在于，所述封裝器件還包括半反半透鏡和探測光透鏡，所述掃描微鏡芯片還包括探測器；

所述半反半透鏡，用于反射回波光束至所述探測光透鏡，其中，所述回波光束為所述激光器發出的光束到達目標物體后，反射回來的光束；

所述探測光透鏡，用于對所述回波光束進行聚焦，將聚焦后的光束發給所述探測器；

所述探測器，用于探測所述聚焦后的光束。

9.根據權利要求8所述的掃描裝置，其特征在于，所述探測器位于所述中空結構中。

10.根據權利要求8所述的掃描裝置，其特征在于，所述半反半透鏡位于所述回波光束的傳播路徑上。

11.根據權利要求8-10中任一項所述的掃描裝置，其特征在于，所述封裝器件還包括第三反射鏡，

所述第三反射鏡用于將所述半反半透鏡發來的所述回波光束反射給所述探測光透鏡；

或

所述第三反射鏡用于將所述探測光透鏡聚焦后的光束反射給所述探測器。

12.根據權利要求8-10中任一項所述的掃描裝置，其特征在于，所述掃描裝置還包括處理器，

所述處理器，用于根據所述探測器發來的探測信號，得到所述目標物體的位置及運動信息。

13.根據權利要求12所述的掃描裝置，其特征在于，所述掃描微鏡芯片還包括驅動電極，其中，所述驅動電極分別與所述激光器和所述掃描微鏡相連；

所述處理器，用于通過所述驅動電極控制所述激光器發射激光以及所述掃描微鏡旋轉。