[發明專利]下部電極檢測系統在審
| 申請號: | 201910725459.0 | 申請日: | 2019-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN110346669A | 公開(公告)日: | 2019-10-18 |
| 發明(設計)人: | 梁君;李東一 | 申請(專利權)人: | 重慶臻寶實業有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/00 | 分類號: | G01R31/00;G01R31/02 |
| 代理公司: | 重慶為信知識產權代理事務所(普通合伙) 50216 | 代理人: | 周云濤 |
| 地址: | 401326 重慶市九*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 下部電極 檢測箱 檢測 導電接頭 檢測系統 檢測室 蝕刻 安全事故 環境空氣 快速檢測 使用環境 豎向設置 中空結構 抽真空 接駁口 良品率 漏電流 外側壁 真空泵 導通 電阻 室內 生產 | ||
1.一種下部電極檢測系統,其特征在于,包括:
檢測箱(1),所述檢測箱(1)呈中空結構,其內部具有檢測室(10);
真空泵(2),其用于對所述檢測室(10)進行抽真空操作;
導電接頭(3),其豎向設置于檢測室(10)內,所述檢測箱(1)外側壁上設有與該導電接頭(3)導通的檢測接駁口(11)。
2.根據權利要求1所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述檢測室(10)內具有水平設置的加熱鋁板(4),所述加熱鋁板(4)的周向外緣與檢測箱(1)內側壁之間留有間隙,該加熱鋁板(4)內部均勻分布有加熱棒,所述檢測箱(1)外側壁上設有與所有加熱棒導通的加熱接駁口(12)。
3.根據權利要求2所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述加熱鋁板(4)上對應導電接頭(3)的位置設有安裝孔(40),所述導電接頭(3)位于該安裝孔(40)內,其包括上下正對設置的絕緣頂座(31)和絕緣底座(30),其中絕緣頂座(31)的上表面與加熱鋁板(4)的上表面齊平,所述絕緣底座(30)上通過彈簧(32)豎直支承有金屬導電桿(33),所述彈簧(32)處于自然狀態時,所述金屬導電桿(33)的上端凸出于絕緣頂座(31)的上表面,所述加熱鋁板(4),所述金屬導電桿(33)的下端通過電線與檢測接駁口(11)電性連接。
4.根據權利要求3所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述絕緣頂座(31)和絕緣底座(30)固定連接,并在兩者之間設有導向座(34),所述導向座(34)具有上端敞口的安裝腔(340),所述金屬導電桿(33)豎向設置于該安裝腔(340)內,所述金屬導電桿(33)上端靠近其端部的位置具有與所述安裝腔(340)滑動配合的導平盤(330),所述彈簧(32)套設于金屬導電桿(33)上,其上下兩端分別與導平盤(330)和安裝腔(340)底壁抵接,所述彈簧(32)處于自然狀態時,所述導平盤(330)與絕緣頂座(31)的上表面齊平。
5.根據權利要求1所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述檢測箱(1)上設有與所述檢測室(10)貫通的通風閥門(13)。
6.根據權利要求1所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述真空泵(2)配置有冷凍機(5)。
7.根據權利要求1所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述檢測箱(1)包括呈長方體結構的箱體(1a),所述檢測室(10)成型于箱體(1a)上,其上端敞口,所述箱體(1a)配置有與所述檢測室(10)相適應的頂蓋(1b),所述箱體(1a)上端面設有密封圈(14),所述密封圈(14)位于檢測室(10)的周向外側。
8.根據權利要求7所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述箱體(1a)的至少一個對角線的兩端均設有定位銷(15),所述定位銷(15)豎直朝上設置,所述頂蓋(1b)上具有與所述定位銷(15)一一對應的定位銷孔(16)。
9.根據權利要求7所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述箱體(1a)的四周對稱設置有夾緊件(6),所述夾緊件(6)用于將頂蓋(1b)與箱體(1a)夾緊。
10.根據權利要求1所述的下部電極檢測系統,其特征在于:所述檢測箱(1)配置有電控箱(7),所述電控箱(7)包括PLC控制器及與該PLC控制器相連的觸屏(70),所述檢測箱(1)上設有透明的觀測窗(17)。
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