[發明專利]一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置及使用方法

在審

• 申請號: 201910725191.0
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110346083A
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 張海洋;劉偉;呂文波
• 申請（專利權）人: 蘇州伊歐陸系統集成有限公司
• 主分類號: G01L25/00
• 分類號: G01L25/00;G01R31/28
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 滕詣迪

1.一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置，其特征在于：包括控制主機、壓力控制裝置、壓力空氣探針和測試儀表，所述控制主機用于遠程控制壓力控制裝置，并接收壓力控制裝置反饋的信號，所述壓力控制裝置接收到控制主機的信號后，輸出對應壓力的壓縮空氣到壓力空氣探針，壓力空氣探針將接收到的壓縮空氣噴射至壓阻壓力傳感器芯片的相應區域上，壓阻壓力傳感器芯片與測試儀表通信連接，壓阻壓力傳感器芯片接收到壓力空氣探針的空氣壓力后，會輸出相應的電信號至測試儀表，從而完成壓阻壓力傳感器芯片的在片測試。

2.根據權利要求1所述的一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置，其特征在于：所述壓力控制裝置包括空壓機、儲氣罐和壓力控制閥，空壓機的輸出端與儲氣罐的輸入口連接，壓力控制閥的進口與儲氣罐的輸出口連接，壓力控制閥的出口與壓力空氣探針的進口端連接，空壓機的壓力控制端與控制主機的I/O端通信連接，儲氣罐上的壓力反饋端口與控制主機的I/O端通信連接，壓力控制閥的控制端與控制主機的I/O端通信連接。

3.根據權利要求1所述的一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置，其特征在于：所述的控制主機還設置有軟件系統，所述的軟件系統包括壓力控制裝置的通訊、設置并控制管路氣壓、讀取管路氣流主要參數。

4.根據權利要求3所述的一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置，其特征在于：管路氣流主要參數包括氣流即時流量、閥負載、歷史總流量、氣流溫度。

5.根據權利要求1所述的一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置，其特征在于：所述的測試裝置還包括探針臺和定位器，所述定位器的固定端安裝在探針臺上，定位器的移動端用于安裝壓力空氣探針，壓阻壓力傳感器芯片固定在探針臺上，定位器用于移動壓力空氣探針與壓阻壓力傳感器芯片對應。

6.一種壓阻壓力傳感器芯片在片測試裝置的使用方法，其特征在于：其步驟為：

(1)通過RS-485轉USB線纜將控制主機與壓力控制閥連接起來；

(2)在安裝于控制主機上的控制軟件界面上設置好相關通訊參數；

(3)壓力控制閥根據軟件界面壓力設置值與壓力反饋的壓力情況調節閥門開度，使壓縮空氣以軟件設置值從壓縮空氣進口流至壓縮空氣出口，再經由管路輸送至壓力空氣探針；

(4)通過壓力空氣探針的針尖處吹向壓阻壓力傳感器芯片相應區域上，此時壓阻壓力傳感器芯片在接受壓力后會發生電性能變化；

(5)通過測試儀表可以獲取電性能參數，最終實現壓阻壓力傳感器芯片的在片測試。