[發明專利]用于傳送電子元件的裝置在審
| 申請號: | 201910725164.3 | 申請日: | 2019-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN112216641A | 公開(公告)日: | 2021-01-12 |
| 發明(設計)人: | 劉啟峰 | 申請(專利權)人: | 先進科技新加坡有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京申翔知識產權代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
| 地址: | 新加坡2*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 傳送 電子元件 裝置 | ||
一種用于傳送電子元件的裝置,包括主旋轉轉臺,該主旋轉轉臺包括多個轉臺拾取頭,用于將電子元件輸送到與主旋轉轉臺相鄰的多個位置;第一旋轉機構,用于從電子元件供應裝置中拾取電子元件,其中該第一旋轉機構在第一轉移位置處與主旋轉轉臺可操作地連通;以及第二旋轉機構,其在第二轉移位置處與主旋轉轉臺可操作地連通,并且還在第三轉移位置處與第一旋轉機構可操作地連通。
技術領域
本發明涉及一種用于將電子元件從供應區域傳送到處理站的裝置和方法。
背景技術
電子元件可以形成在半導體晶片上,隨后將半導體晶片切割成單個的電子元件。在切割之后,將各個電子元件安裝在彈性膜,通常是彈性粘合膜上,其中電子元件的引線或電觸點背向彈性膜。在從彈性膜拾取這些電子元件之后,可能必須翻轉電子元件,以便可以對它們執行諸如功能測試或視覺完整性檢查等后續處理。
用于翻轉電子元件的傳統裝置包括輪子,該輪子拾取電子元件并將其旋轉180°,從而將其翻轉以用于后續處理。然而,傳統裝置在要求電子元件不止一次翻轉的處理中是沒有用的。
發明內容
因此,本發明的目的是尋求提供一種用于將電子元件從供應區域傳送到處理站的改進裝置,其具有不止一次翻轉電子元件的能力。
根據本發明的第一方面,提供了一種用于傳送電子元件的裝置,包括:主旋轉轉臺,該主旋轉轉臺包括多個轉臺拾取頭,多個轉臺拾取頭用于將電子元件輸送到與主旋轉轉臺相鄰的多個位置;第一旋轉機構,其被配置成用于從電子元件供應裝置中拾取電子元件,其中第一旋轉機構在第一轉移位置處與主旋轉轉臺可操作地連通;以及第二旋轉機構,其在第二轉移位置處與主旋轉轉臺可操作地連通,并且還在第三轉移位置處與第一旋轉機構可操作地連通。
根據本發明的第二方面,提供了一種用于傳送電子元件的方法,包括以下步驟:利用第一旋轉機構從電子元件供應裝置中拾取電子元件,其中第一旋轉機構在第一轉移位置處與主旋轉轉臺可操作地連通,并且主轉臺包括多個轉臺拾取頭,多個轉臺拾取頭用于將電子元件輸送到與主旋轉轉臺相鄰的多個位置;將電子元件傳送到第二旋轉機構,該第二旋轉機構在第二轉移位置處與第一旋轉轉臺可操作地連通;然后,在第三轉移位置處將電子元件傳送到主旋轉轉臺,其中在第三轉移位置處,第二旋轉機構與主旋轉轉臺可操作地連通。
針對說明書部分、所附權利要求和附圖,將更好地理解這些和其他特征、方面和優點。
附圖說明
現在將僅通過示例的方式參考附圖描述本發明的實施例,其中。
圖1示出了根據本發明優選實施例的用于將電子元件從供應區域傳送到處理站的裝置的透視圖。
圖2A和圖2B示出了包括在圖1的裝置中的翻轉機構。
圖3A和圖3B示出了位于與圖1所示位置不同的位置的翻轉機構。
在附圖中,相同的部件由相同的附圖標記表示。
具體實施方式
圖1示出了根據本發明優選實施例的用于將電子元件102從供應區域110(例如安裝在彈性膜上的晶片)傳送到處理站(未示出)的裝置100的透視圖。
裝置100包括能夠繞水平軸線旋轉的第一旋轉機構或第一旋轉轉臺120、能夠繞正交于水平軸線的垂直軸線旋轉的主旋轉轉臺或第二旋轉轉臺130,以及能夠繞平行于第二旋轉轉臺130的水平軸線的另一水平軸線旋轉的第二旋轉機構或翻轉機構170。換句話說,第二旋轉轉臺130位于水平面上,并且第一旋轉轉臺120和翻轉機構170位于各自的垂直平面上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





