[發明專利]一種光輔助提高應力傳感器靈敏度的方法

在審

• 申請號: 201910723638.0
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110487455A
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 吳漢春;閆文杰
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01L1/26
• 分類號: G01L1/26
• 代理公司: 11639 北京理工正陽知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 毛燕<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種光輔助提高應力傳感器靈敏度的方法，其特征在于：采用光輔助法：使基于二維材料的應力傳感器在受到應力影響發生電學性質改變的同時接受光照；光照作為輔助作用，為二維材料注入額外的載流子，使之在受到應力作用產生形變時，該注入的額外載流子能有效調節電極與二維材料之間的有效肖特基勢壘的高度，從而達到提高應力傳感器靈明度的目的。

2.采用如權利要求1所述的方法制備的高靈敏度應力傳感器，其特征在于：包括：二維材料、柔性襯底、導電電極、導線以及光源；所述二維材料置于柔性襯底上，所述導電電極置于二維材料與柔性襯底之間；用光源照明二維材料部分；在導電電極上連接導線，使整個傳感器方便接入電子系統中。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于：所述二維材料包括：SnS₂、SnS、SnSe₂、SnSe、GaSe、GeSe、WS₂、WSe₂、MoS₂、MoSe₂、VS₂、VSe₂、PtS₂、PtSe₂和石墨烯。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于：所述光源包括：LED光源、激光光源、熒光光源。

5.如權利要求2所述的傳感器，其特征在于：所述柔性襯底包括有機彈性塑料或者記憶金屬彈性鋼材。

6.如權利要求2所述的傳感器，其特征在于：所述導電電極的構造方法包括：光刻法形成模板后用鍍膜機鍍上一層金屬。

7.如權利要求2所述的傳感器，其特征在于：所述導電電極包括：金屬或合金。

8.如權利要求2所述的傳感器，其特征在于：所述光源包括：LED光源、激光光源、熒光光源。

9.如權利要求2所述的傳感器，其特征在于：所述二維材料包括：SnS₂、SnS、SnSe₂、SnSe、GaSe、GeSe、WS₂、WSe₂、MoS₂、MoSe₂、VS₂、VSe₂、PtS₂、PtSe₂和石墨烯。