[發明專利]用于處理腔室的襯里

有效

• 申請號: 201910717274.5
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN110804729B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 哲鵬·叢;舒伯特·S·楚;尼伊·O·奧美;卡提克·沙赫;蘇拉吉特·庫馬爾
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于處理腔室的襯里，包括：

外部部分，所述外部部分具有內表面和外表面；和

內部部分，所述內部部分具有內表面和外表面；其中，

所述外部部分的所述內表面的一部分在至少一個接合點處與所述內部部分的所述外表面熱接觸，所述至少一個接合點具有在所述外部部分的所述內表面的所述部分與所述內部部分的所述外表面之間的接觸區域；并且

所述內部部分具有第一熱質量，并且所述外部部分具有第二熱質量，且所述第一熱質量小于所述第二熱質量。

2.如權利要求1所述的襯里，其中所述接觸區域小于所述外部部分的所述內表面與所述內部部分的所述外表面之間的非接觸區域。

3.如權利要求2所述的襯里，其中所述接觸區域小于所述非接觸區域的10％。

4.如權利要求1所述的襯里，其中所述內部部分和所述外部部分至少部分地由間隙分開。

5.如權利要求1所述的襯里，其中所述內部部分和所述外部部分由石英制成。

6.一種用于處理腔室的襯里，包括：

外部部分，所述外部部分具有內表面和外表面；

內部部分，所述內部部分具有內表面和外表面；

第一涂層材料，所述第一涂層材料設置在所述內部部分的所述內表面的至少一部分上；和

第二涂層材料，所述第二涂層材料設置在所述內部部分的所述外表面的至少一部分上和所述外部部分的所述內表面的至少一部分上；其中

所述外部部分的所述內表面的一部分在至少一個接合點處與所述內部部分的所述外表面接觸，所述至少一個接合點具有在所述外部部分的所述內表面的所述部分與所述內部部分的所述外表面之間的接觸區域；并且

所述第一涂層材料具有比所述第二涂層材料高的熱吸收系數。

7.如權利要求6所述的襯里，其中所述第一涂層材料是涂有SiC的石墨。

8.如權利要求6所述的襯里，其中所述第二涂層材料是火焰拋光的石英。

9.如權利要求6所述的襯里，其中所述第一涂層材料是涂有SiC的石墨，并且所述第二涂層材料是火焰拋光的石英。

10.如權利要求6所述的襯里，其中所述接觸區域小于所述外部部分的所述內表面與所述內部部分的所述外表面之間的非接觸區域。

11.如權利要求10所述的襯里，其中所述接觸區域小于所述非接觸區域的10％。

12.如權利要求6所述的襯里，其中所述內部部分和所述外部部分至少部分地由間隙分開。

13.如權利要求6所述的襯里，其中所述內部部分和所述外部部分由石英制成。