[發(fā)明專利]一種磁傳感器的制造方法及磁傳感器

有效

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• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN110568385B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒泉波
• 申請（專利權(quán)）人: 濰坊歌爾微電子有限公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王昭智

1.一種磁傳感器的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供永磁體模板，所述永磁體模板包括第一基底以及布置在第一基底上的永磁體圖案陣列，兩個永磁體之間的間距大于二者的尺寸；

所述第一基底上設(shè)置有第一膠層，所述永磁體圖案陣列粘接在第一膠層上；還包括將永磁體圖案陣列覆蓋起來的第二膠層；

提供待退火的磁阻單元，所述磁阻單元包括第二基底以及布置在第二基底上的磁阻圖案陣列；且所述磁阻圖案陣列與永磁體圖案陣列相對應(yīng)；

對準(zhǔn)步驟：將永磁體模板與磁阻單元配合在一起，并使磁阻圖案陣列中的磁阻與永磁體圖案陣列中的永磁體一一對應(yīng)，所述對準(zhǔn)步驟中，所述永磁體模板與磁阻單元通過第二膠層貼合在一起；

退火步驟：將貼合后的永磁體模板與磁阻單元放入退火爐中進行加熱、退火，以固定磁阻的釘扎方向；所述永磁體為與其對應(yīng)的磁阻提供固定釘扎方向的外磁場。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述永磁體與磁阻之間的間距通過第二膠層的厚度來控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，退火后的永磁體模板與磁阻單元分離后，還包括對第一基底上的第二膠層進行平整的步驟。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，退火后的永磁體模板與磁阻單元分離后，還包括對第一基底上的第二膠層進行剝離并上膠重新形成第二膠層的步驟。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述對準(zhǔn)步驟中，所述永磁體模板與磁阻單元分別裝配在治具上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述永磁體模板的永磁體圖案陣列中，永磁體的磁場方向是相同的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述永磁體模板的永磁體圖案陣列中，永磁體的磁場方向是不同的。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，至少一個永磁體的磁場方向與至少一個永磁體的磁場方向相反。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，至少一個永磁體的磁場方向與至少一個永磁體的磁場方向垂直。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，至少兩個永磁體分布在第一軸線方向上，至少兩個永磁體分布在第二軸線方向上；

分布在第一軸線方向上的至少兩個永磁體的磁場方向，與分布在第二軸線方向上的至少兩個永磁體的磁場方向不同；

其中，

分布在第一軸線方向上的至少兩個永磁體中，至少一個永磁體的磁場方向與至少另一個永磁體的磁場方向相反；

分布在第二軸線方向上的至少兩個永磁體中，至少一個永磁體的磁場方向與至少另一個永磁體的磁場方向相反。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述提供永磁體模板的步驟包括：

提供位于原始襯底上的永磁體陣列；

按照預(yù)定的圖案將第一部分永磁體轉(zhuǎn)移到第一基底上；

按照預(yù)定的圖案將第二部分永磁體轉(zhuǎn)移并排布到第一基底上；

依次重復(fù)，形成位于第一基底上的磁阻圖案陣列。

12.一種磁傳感器，其特征在于，根據(jù)權(quán)利要求1至11所述的制造方法制得。