[發明專利]一種大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法在審
| 申請號： | 201910703397.3 | 申請日： | 2019-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN112301425A | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 宋瑞強;張文霞;高潤飛;徐強;武志軍;郭謙;郭志榮;韓凱;趙志遠 | 申請（專利權）人： | 內蒙古中環光伏材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 欒志超 |
| 地址： | 010070 內蒙古自*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 尺寸 單晶硅 棒大氬氣 流量 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：包括融料、穩溫、引晶、放肩、轉肩、等徑和收尾，穩溫、引晶、放肩、轉肩、等徑過程保持上氬氣流量為90-120SLPM，保持爐壓25Mpa。
2.根據權利要求1所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：穩溫、引晶、放肩階段保持上氬氣流量為100-120SLPM；所述轉肩階段保持上氬氣流量為100-110SLPM；所述等徑階段保持上氬氣流量為90-100SLPM。
3.根據權利要求2所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：融料和收尾階段保持上氬氣流量為90-120SLPM。
4.根據權利要求2所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：融料和收尾階段保持上氬氣流量為60-80SLPM。
5.根據權利要求1-4中任一所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：下氬氣流量為20-30 SLPM。
6.根據權利要求1-5所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：引晶階段熔接直徑上限為16.5mm，熔接直徑下限為13mm，最小直徑值為10mm。
7.根據權利要求6所述的大尺寸單晶硅棒大氬氣流量拉晶方法，其特征在于：引晶增益值為0.085。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于內蒙古中環光伏材料有限公司，未經內蒙古中環光伏材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910703397.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
