[發明專利]太陽能電池分片的制備工藝有效
| 申請號： | 201910703053.2 | 申請日： | 2019-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN110416156B | 公開（公告）日： | 2022-04-26 |
| 發明（設計）人： | 符黎明;曹育紅;緒欣;孟祥熙 | 申請（專利權）人： | 常州時創能源股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/78 | 分類號： | H01L21/78;H01L31/18;B28D5/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 分片 制備 工藝 | ||
1.太陽能電池分片的制備工藝，包括依次進行的如下步驟：制絨，擴散，邊緣刻蝕，沉積減反射層，印刷燒結；其特征在于：
還包括整片分割步驟，該整片分割步驟將硅片整片分割成分片；所述整片分割步驟包括依次進行的如下具體步驟：劃片，裂片；所述劃片是通過激光劃片機對整片進行切割，形成切槽；所述裂片是通過裂片機沿切槽對整片進行裂片，使整片裂成分片，且裂片對分片側壁產生機械損傷層；
所述整片分割步驟在擴散步驟之前進行，且通過邊緣刻蝕去除由裂片產生的分片邊緣側壁的損傷層；
還包括整片檢驗步驟，該整片檢驗步驟在制絨步驟之前進行，通過整片檢驗去除不合格的硅片整片；所述整片分割步驟在整片檢驗步驟之后進行；
還包括邊緣鈍化步驟，該邊緣鈍化步驟在邊緣刻蝕步驟之后進行，且邊緣鈍化步驟在沉積減反射層步驟之前進行，通過邊緣鈍化在分片邊緣形成鈍化膜。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片分割步驟在制絨步驟之前進行。
3.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片分割步驟在制絨步驟之后進行。
4.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片為規則形狀或不規則形狀。
5.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片為三角形、凸多邊形或凹多邊形。
6.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片為方形硅片或帶圓倒角的方形硅片。
7.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述整片由硅棒的邊皮料切割而成。
8.根據權利要求7所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述邊皮料為硅棒切方產生的邊皮料。
9.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述分片為整片的等分分片或不等分分片。
10.根據權利要求1所述的太陽能電池分片的制備工藝，其特征在于，所述分片為整片的兩等分分片、三等分分片、四等分分片、五等分分片或六等分分片。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
