[發(fā)明專利]浸液回收防擾動裝置、浸沒頭氣液循環(huán)系統(tǒng)及光刻設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910702446.1
• 申請日: 2019-07-31
• 公開（公告）號: CN112305867B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設計）人: 李先明;趙丹平
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種浸液回收防擾動裝置，其特征在于，包括殼體，形成有氣液混合腔，所述氣液混合腔的側(cè)壁設置有進液口和出液口；

多個氣液緩沖體，固定于所述氣液混合腔中，用于緩沖氣液混合產(chǎn)生的擾動；

所述氣液緩沖體包括柱狀的柔性體，所述柔性體的兩端均固定于所述氣液混合腔中，且所述柔性體的長度方向與所述進液口的進液方向相垂直。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述殼體還形成有排氣腔，所述排氣腔上設置有排氣口，所述排氣腔和所述氣液混合腔通過隔板隔開；

所述柔性體包括由氣液分離膜形成的氣液分離管，所述氣液分離管的一端固定在所述氣液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上并與所述排氣腔連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述柔性體還包括頂部安裝硬管、底部安裝硬管和柔性引導棒；

所述氣液分離管的一端通過所述底部安裝硬管固定在所述氣液混合腔的底部；

所述氣液分離管的另一端通過所述頂部安裝硬管固定在所述隔板上；

所述柔性引導棒設置于所述氣液分離管中，所述柔性引導棒的一端固定在所述氣液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述氣液分離管的長度大于所述柔性引導棒的長度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述氣液分離管的長度為所述柔性引導棒的長度的1.15-1.35倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述柔性引導棒的直徑小于或等于所述氣液分離管的半徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述氣液分離管的直徑為1.5mm～5mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述柔性引導棒的側(cè)壁開設有多個周向排布，且沿所述柔性引導棒的長度方向延伸的導氣槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，所述多個柔性體分為多組柔性體組，所述多組柔性體組沿第一方向排布，每組所述柔性體組包括多個沿第二方向排列的所述柔性體，任意相鄰兩組所述柔性體組中的所述柔性體交錯排布，其中，所述第一方向與所述進液口的進液方向相平行，所述第二方向與所述第一方向相垂直。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的浸液回收防擾動裝置，其特征在于，在所述第一方向上，任意相鄰兩組所述柔性體組中的相鄰兩個所述柔性體的間距為3mm～10mm。

11.一種浸沒頭氣液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-10任一所述的浸液回收防擾動裝置，還包括：

浸沒頭，所述浸沒頭包括氣體進口、浸液進口、氣液抽排口；

氣體凈化裝置，所述氣體凈化裝置的氣體出口與所述浸沒頭的氣體進口連接；

浸液循環(huán)處理裝置，所述浸液循環(huán)處理裝置的浸液出口與所述浸沒頭的浸液進口連接；

所述浸液回收防擾動裝置的進液口與所述浸沒頭的氣液抽排口連接，所述浸液回收防擾動裝置的出液口與所述浸液循環(huán)處理裝置的回水口連接。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的浸沒頭氣液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括排氣隔膜泵，所述排氣隔膜泵與所述浸液回收防擾動裝置的排氣口連接。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的浸沒頭氣液循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述浸液回收防擾動裝置的進液口到所述浸沒頭的氣液抽排口的距離小于或等于1000mm。

14.一種光刻設備，其特征在于，包括如權(quán)利要求11-13任一所述的浸沒頭氣液循環(huán)系統(tǒng)。