[發明專利]一種高純碳化硅粉料品質的評價方法有效
| 申請號： | 201910694877.8 | 申請日： | 2019-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN110455725B | 公開（公告）日： | 2021-12-07 |
| 發明（設計）人： | 王建江;王毅;高衛;李召永;趙麗霞;吳會旺;陳秉克 | 申請（專利權）人： | 河北普興電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/31 | 分類號： | G01N21/31;G01N21/01 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高純 碳化硅 品質 評價 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1，取高純碳化硅粉料，采用測色裝置測量其明度值L*及色度值a*和b*；所述高純碳化硅粉料的測試粒徑為75～4000μm；
步驟2，將所得L*值、a*值和b*值代入以下公式計算品質因數Δ，Δ越大說明碳化硅粉料的品質越好；
其中，L*的取值范圍為0～100，a*的取值范圍為-128～0，b*的取值范圍為0～127。
2.如權利要求1所述的高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，所述測色裝置為測色色差計、分光測色儀或積分球色差計。
3.如權利要求2所述的高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，所述測色裝置為3nh-ys3010型分光測色儀。
4.如權利要求3所述的高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，所述3nh-ys3010型分光測色儀的測試參數為：觀察角度為1-12°，測量口徑為1-10mm。
5.如權利要求3所述的高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，所述測色裝置的測色光源為D65、D50、A光源、C光源、D55或D75。
6.如權利要求1所述的高純碳化硅粉料品質的評價方法，其特征在于，所述高純碳化硅粉料的測試粒徑為180～2500μm。
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