[發明專利]一種測量磁力顯微鏡探針雜散場強度的方法

有效

• 申請號: 201910694543.0
• 申請日: 2019-07-30
• 公開（公告）號: CN110412488B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 曹永澤
• 申請（專利權）人: 大連海事大學
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09;G01R33/07
• 代理公司: 大連至誠專利代理事務所(特殊普通合伙) 21242
• 代理人: 楊威;張海燕

1.一種測量磁力顯微鏡探針雜散場強度的方法，其特征在于：測量裝置包括磁力顯微鏡、探針、感應線圈、面內磁化隧道結和電阻測量線路，測量過程包括以下步驟：

S1、利用磁力顯微鏡、探針、面內磁化隧道結和電阻測量線路測得探針處于面內磁化隧道結不同高度時面內磁化隧道結的電阻，繪制垂直方向上探針抬舉高度與面內磁化隧道結電阻之間的關系曲線Ⅰ，所述步驟S1中包括以下步驟，

S10、將面內磁化隧道結固定在磁力顯微鏡的樣品臺上，保持面內磁化隧道結位置不變；

S11、將探針安裝到磁力顯微鏡上，進行原子力模式掃描樣品臺，找到面內磁化隧道結的位置；

S12、將探針以接觸模式放置在面內磁化隧道結的正上方，設置不同的探針抬舉高度，利用電阻測量線路測量面內磁化隧道結的電阻變化，繪制垂直方向上探針抬舉高度與面內磁化隧道結電阻之間的關系曲線Ⅰ；

S2、利用磁力顯微鏡、感應線圈、面內磁化隧道結、電阻測量線路測得感應線圈中通入不同電流時面內磁化隧道結的電阻，繪制感應線圈產生的磁場強度與面內磁化隧道結的電阻之間的關系曲線Ⅱ，所述步驟S2包括以下步驟，

S20、在感應線圈中通入不同的電流，利用霍爾片測得感應線圈施加不同的電流時產生的磁場強度，獲取感應線圈的磁場強度與施加電流的對應關系；

S21、將感應線圈放置在面內磁化隧道結的正下方，對感應線圈施加不同的電流，測量面內磁化隧道結的電阻的變化，獲取對感應線圈施加電流的強度與面內磁化隧道結的電阻的對應關系；

S22、根據S20中獲得的感應線圈的磁場強度與施加電流的對應關系和S21中施加電流與面內磁化隧道結的電阻的關系，繪制出感應線圈的磁場強度與面內磁化隧道結的電阻之間的關系曲線Ⅱ；

S3、查找曲線Ⅰ和曲線Ⅱ中電阻值相同的點分別對應的探針抬舉高度和感應線圈產生的磁場強度，得到磁力顯微鏡探針在不同抬舉高度時的雜散場強度值，最終實現磁力顯微鏡的定量測試。

2.根據權利要求1所述的測量磁力顯微鏡探針雜散場強度的方法，其特征在于：探針每次抬舉的高度為2nm。