[發明專利]用于校準超聲鍵合機的方法

有效

• 申請號: 201910693605.6
• 申請日: 2019-07-30
• 公開（公告）號: CN110773409B
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: F·伊科克;M·查恩塔;S·托費恩科
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: B06B3/02
• 分類號: B06B3/02;B23K20/10;H01L21/607
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;郭星

1.一種用于基于經校準的第一鍵合機(1)來校準第二鍵合機(2)的方法，所述第一鍵合機(1)包括第一超聲換能器(113)，所述第二鍵合機(2)包括第二超聲換能器(213)和電源(215)，所述方法包括：

通過第一機械阻尼抑制所述第一超聲換能器(113)；

向所述第一超聲換能器(113)提供第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))，所述第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))引起所述第一超聲換能器(113)在被所述第一機械阻尼抑制時，以第一校準幅度(A_cal1)振蕩；

向所述第二超聲換能器(213)提供第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal2(t))，其中所述第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal2(t))被配置為引起所述第二超聲換能器(213)在被與所述第一機械阻尼相同的第二機械阻尼抑制時，以與所述第一校準幅度(A_cal1)相同的第二校準幅度(A_cal2)振蕩；以及

將所述第二鍵合機(2)適配為：

基于所述第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))的第一電參數和所述第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal2(t))的第二電參數，修改由所述第二鍵合機(2)的第二控制單元(210)所提供的或者作為外部輸入信號被提供至所述第二鍵合機(2)的第二控制信號(C₂，C_2X)，以便生成經修改的第二控制信號(C₂'，C_2X')；

將所述經修改的第二控制信號(C₂'，C_2X')提供給所述電源(215)以便引起所述電源(215)依據所述第二控制信號(C₂，C_2X)生成第二電力(P₂(t)，V₂(t))；以及

將所述第二電力(P₂(t)，V₂(t))提供給所述第二超聲換能器(213)。

2.根據權利要求1所述的方法，其中：

(a)所述第一電參數是所述第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))的電功率(P_cal1(t))的平均值(P_cal1(t))，并且所述第二電參數是所述第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal1(t))的電功率(P_cal2(t))的平均值(P_cal2(t))；或者

(b)所述第一電參數是所述第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))的第一電壓(V_cal1(t))的平均值(V_cal1(t))，并且所述第二電參數是所述第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal1(t))的第二電壓(V_cal2(t))的平均值(V_cal2(t))；或者

(c)所述第一電參數是所述第一校準電力(P_cal1(t)，V_cal1(t))的第一電壓(V_cal1(t))的第一幅度(V_cal10)，并且所述第二電參數是所述第二校準電力(P_cal2(t)，V_cal2(t))的第二電壓(V_cal2(t))的第二幅度(V_cal20)。