[發(fā)明專利]一種零件表面平面度的檢測裝置及檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910693000.7 | 申請日： | 2019-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN110470250B | 公開（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 閆春蓮 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖北三江航天萬山特種車輛有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京匯信合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11335 | 代理人： | 寇俊波 |
| 地址： | 432000*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 零件 表面 平面 檢測 裝置 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種零件表面平面度的檢測裝置及檢測方法，工作臺上安裝有水平導(dǎo)軌和驅(qū)動機構(gòu)，導(dǎo)軌上安裝有卡緊標(biāo)準(zhǔn)樣塊或被測零件的多爪卡盤，驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動導(dǎo)軌在工作臺上運動；支架上安裝有雙狹縫干涉成像系統(tǒng)、光學(xué)成像傳感器和兩個可調(diào)光源，雙狹縫干涉成像系統(tǒng)位于多爪卡盤的正上方，光學(xué)成像傳感器獲取標(biāo)準(zhǔn)樣塊或被測零件的干涉條紋圖像，兩個可調(diào)光源位于雙狹縫干涉成像系統(tǒng)的兩側(cè)；圖像處理系統(tǒng)與光學(xué)成像傳感器相連，對標(biāo)準(zhǔn)樣塊和被測零件的干涉條紋圖像進行處理，得到標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋圖譜和被測干涉條紋圖譜；計算被測干涉條紋圖譜與標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋圖譜之間的偏差量，得到被測零件的表面平面度。本發(fā)明高精度、快速的完成零件表面平面度檢測。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及平面度檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種零件表面平面度的檢測裝置及檢測方法。
背景技術(shù)
隨著技術(shù)進步，對各種零件加工精度、效率要求越來越高，同時對零件檢測速度也提出了更高的要求；現(xiàn)有形位公差的檢測，如平面度檢測大多采用手工檢測，效率低下，已成為零件檢測的瓶頸，這就需要一種零件表面平面度的在線快速檢測裝置來滿足企業(yè)的要求。
隨著自動控制系統(tǒng)、圖像處理技術(shù)日益成熟和普及，構(gòu)成自動控制系統(tǒng)的各要件精度、可靠性日益提高，已能很好的滿足高精度運動控制的要求，為零件在檢測裝置中準(zhǔn)確輸送提供了保證。
隨著微電子技術(shù)發(fā)展，CCD器件和COMS器件有效像素數(shù)快速增加，很多可達數(shù)千萬像素，對于小型零件，光學(xué)成像傳感器成像測量精度可達0.001毫米，甚至更高精度。另外，現(xiàn)在計算機運行速度很快，對于數(shù)千萬像素的圖像只需零點幾秒即可完成圖像處理和尺寸輸出判別，這就為零件平面度快速測量提供了保證。
發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題中存在的不足之處，本發(fā)明提供一種零件表面平面度的檢測裝置及檢測方法。
本發(fā)明公開了一種零件表面平面度的檢測裝置，包括：工作臺、支架和圖像處理系統(tǒng)；
所述工作臺上安裝有水平導(dǎo)軌和驅(qū)動機構(gòu)，所述導(dǎo)軌上安裝有用于水平卡緊標(biāo)準(zhǔn)樣塊或被測零件的多爪卡盤，所述驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述導(dǎo)軌在所述工作臺上運動；
所述支架上安裝有雙狹縫干涉成像系統(tǒng)、光學(xué)成像傳感器和兩個可調(diào)光源，所述雙狹縫干涉成像系統(tǒng)位于所述多爪卡盤的正上方且雙狹縫板水平，所述光學(xué)成像傳感器用于獲取所述標(biāo)準(zhǔn)樣塊或被測零件經(jīng)所述雙狹縫干涉成像系統(tǒng)后的干涉條紋圖像；兩個所述可調(diào)光源位于所述雙狹縫干涉成像系統(tǒng)的兩側(cè)，用于調(diào)整光源照射角度，以適應(yīng)不同被測零件照明的需求；
所述圖像處理系統(tǒng)與所述光學(xué)成像傳感器相連，用于對所述標(biāo)準(zhǔn)樣塊和被測零件的干涉條紋圖像進行處理，得到標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋圖譜和被測干涉條紋圖譜；計算所述被測干涉條紋圖譜與所述標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋圖譜之間的偏差量，得到所述被測零件的表面平面度。
作為本發(fā)明的進一步改進，所述驅(qū)動機構(gòu)包括伺服電機和傳動箱；
所述伺服電機的輸出軸與所述傳動箱相連，所述傳動箱的輸出軸與所述導(dǎo)軌的驅(qū)動傳動軸相連。
作為本發(fā)明的進一步改進，還包括控制臺；
所述控制臺上安裝有伺服控制系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)，所述伺服控制系統(tǒng)用于接收用戶設(shè)置、伺服電機控制和顯示系統(tǒng)控制，所述顯示系統(tǒng)用于與用戶交互信息、顯示零件的平面度。
作為本發(fā)明的進一步改進，所述支架安裝在所述工作臺上。
作為本發(fā)明的進一步改進，所述光學(xué)成像傳感器為可見光成像器。
本發(fā)明還公開了一種零件表面平面度的檢測方法，包括：
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