[發明專利]薄膜壓電材料元件及其制造方法、磁頭折片組件、硬盤驅動器

在審

• 申請號: 201910685669.1
• 申請日: 2019-07-28
• 公開（公告）號: CN110931630A
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 熊偉;飯島淳
• 申請（專利權）人: 新科實業有限公司
• 主分類號: H01L41/08
• 分類號: H01L41/08;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/33;H01L41/332;G11B5/31;G11B5/55
• 代理公司: 深圳永慧知識產權代理事務所(普通合伙) 44378
• 代理人: 宋鷹武

1.一種薄膜壓電材料元件，包括：

層壓結構部，其包括下電極膜、層壓在所述下電極膜上的壓電材料膜，以及層壓在所述壓電材料膜上的上電極膜；

其中，所述壓電材料膜包括：

比所述上電極膜大的膜尺寸；以及

形成在所述上電極膜側的上表面上的豎端面和臺階面，

其中，所述豎端面與所述上電極膜的外圍端面平滑相連并且與所述上表面垂直相交，

其中，所述臺階面與所述豎端面垂直相交。

2.根據權利要求1所述的薄膜壓電材料元件，

其中，所述豎端面和所述臺階面形成在所述壓電材料膜的長邊方向的兩側和短邊方向的兩側。

3.根據權利要求1所述的薄膜壓電材料元件，進一步包括：

由合金材料形成的下壓電材料保護膜；以及

由合金材料形成的上壓電材料保護膜，

其中，所述下壓電材料保護膜和所述上壓電材料保護膜形成為分別在所述下電極膜的下側和所述上電極膜的上側將所述層壓結構部夾在中間，

其中，所述上壓電材料保護膜的外圍端面與所述豎端面平滑相連。

4.根據權利要求3所述的薄膜壓電材料元件，進一步包括：

膜尺寸擴展后結構，其中將包括所述上壓電材料保護膜和所述上電極膜的上膜部、包括所述壓電材料膜的中膜部以及包括所述下電極膜和所述下壓電材料保護膜的下膜部的膜尺寸按順序地進行擴展。

5.根據權利要求4所述的薄膜壓電材料元件，進一步包括：

表層絕緣膜，其設置在所述層壓結構部、所述下壓電材料保護膜和所述上壓電材料保護膜的側表面上，以及所述上壓電材料保護膜的上表面上，

其中，所述表層絕緣膜包括：

布置在所述上壓電材料保護膜的上表面上的頂面設置部；

形成在所述頂面設置部上的通孔；

基于所述上膜部、所述中膜部和所述下膜部的尺寸差異而形成的臺階部；以及

錯開布置結構，其中沿所述上膜部的側面的上側部、沿所述中膜部的側面的中側部以及沿所述下膜部的側面的下側部布置在使得所述上側部、所述中側部和所述下側部按順序地向外錯開的位置處。

6.根據權利要求4所述的薄膜壓電材料元件，

其中，所述上膜部、所述中膜部以及所述下膜部的沿長邊方向的長邊寬度和沿長邊方向的短邊寬度按照所述上膜部、所述中膜部和所述下膜部的順序進行擴展。

7.根據權利要求3所述的薄膜壓電材料元件，

其中，所述下壓電材料保護膜和所述上壓電材料保護膜由以Fe為主要成分且具有Co和Mo的合金材料通過物理氣相沉積來形成。

8.一種薄膜壓電材料元件的制造方法，包括：

層壓結構部形成步驟，其中形成層壓結構部，所述層壓結構部包括下電極膜、層壓在所述下電極膜上的壓電材料膜以及層壓在所述壓電材料膜上的上電極膜，

其中，所述層壓結構部形成步驟包括：

上電極膜形成步驟，其中在所述壓電材料膜上形成具有比所述壓電材料膜小的尺寸的上電極膜；以及

邊緣處理步驟，用于去除所述上電極膜側的上表面中比所述上電極膜更靠外的外側部分，以形成與所述上電極膜的外圍端面平滑相連并且與所述上表面垂直相交的豎端面，以及與所述豎端面垂直相交的臺階面。