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[發(fā)明專利]一種基于全無機(jī)鈣鈦礦薄膜的柔性多態(tài)阻變存儲器及其一步溶液法制備方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201910676408.3 申請日: 2019-07-25
公開(公告)號: CN110379921B 公開(公告)日: 2023-03-24
發(fā)明(設(shè)計)人: 王紅軍;朱媛媛;程鵬偉 申請(專利權(quán))人: 陜西科技大學(xué)
主分類號: H10N70/20 分類號: H10N70/20;H10B63/00
代理公司: 西安西達(dá)專利代理有限責(zé)任公司 61202 代理人: 劉華
地址: 710021 陜西省*** 國省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 基于 無機(jī) 鈣鈦礦 薄膜 柔性 多態(tài)阻變 存儲器 及其 一步 溶液 法制 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種一步溶液法制備基于全無機(jī)鈣鈦礦薄膜的柔性多態(tài)阻變存儲器的方法,其特征在于,包括如下步驟:

1)選擇柔性襯底,在其上沉積厚度為80-200nm的金屬薄膜作為下電極;所述下電極為惰性金屬薄膜電極;

2)將溴化鉛和溴化銫粉末按照1mol:1mol的比例通過研磨混合均勻,以6℃/min的加熱速率在氮?dú)猸h(huán)境中,升溫到600℃,然后保持該溫度對粉末樣品進(jìn)行煅燒24h,自然冷卻后獲得CsPbBr3粉末;取0.05g的CsPbBr3粉末溶解于過量的二甲基亞砜溶液中,超聲15min,獲得沉積CsPbBr3薄膜的先驅(qū)溶液;將配置的溶液以1000-6000rpm的轉(zhuǎn)速旋涂于襯底上,旋涂的時間為60s,在旋涂的最后10s,加入兩滴反溶劑溶液,所述反溶劑為氯苯;之后在氮?dú)猸h(huán)境中120℃下退火40min,自然冷卻后得到全無機(jī)鈣鈦礦薄膜,作為存儲層;

3)采用直徑為20~200μm的圓形掩模版,在無機(jī)鈣鈦礦薄膜上沉積金屬薄膜,作為上電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,下電極的主要成分為金或鉑;上電極的主要成分為金、鉑、銅或銀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,下電極的厚度為80-200nm,CsPbBr3鈣鈦礦薄膜厚度為80nm,上電極的厚度為100nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,柔性材料襯底為PET、PI、或表面拋光的金屬箔。

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