[發明專利]一種壓電驅動器的加工方法

在審

• 申請號: 201910673722.6
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN112290821A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 張巖;劉囡南;常悅;董偉;楊凱森;付吉國;王慧英;姜存光;李烺;付青青
• 申請（專利權）人: 國宏華業投資有限公司;國宏中晶集團有限公司
• 主分類號: H02N2/00
• 分類號: H02N2/00;B08B3/08;B08B3/12;B24C1/08
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 嚴政;劉依云

1.一種壓電驅動器的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：

機械加工步驟、將低膨脹合金原料切割成具有特定規格的驅動器件初胚，并對所述驅動器件初胚的表面進行研磨加工，得到外徑尺寸滿足裝配要求的驅動器件；

清洗步驟、將所述驅動器件置于超聲波清洗機中進行超聲波清洗，然后浸泡在有機清洗液中2～3小時，最后用純水將所述驅動器件沖洗干凈；

退火處理步驟；對所述驅動器件進行退火處理，將其加熱到300～400℃后保溫3～4小時，再冷卻至室溫并取出；

表面噴砂步驟、利用高壓磨料噴束噴射在所述驅動器件的表面，以去除表面雜質和氧化層；

器件集成步驟、利用環氧樹脂膠將壓電陶瓷片與所述驅動器件粘結在一起，并在真空條件下通過鋁制封接帽進行封接，然后整體進行高溫烘烤直至環氧樹脂膠固化，最后將由無氧銅制成的陽極管和陰極環分別以錫焊的方式連接在所述壓電陶瓷片上形成正負電極，最終集成壓電驅動器。

2.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法還包括防腐處理步驟；以電鍍、熱鍍或噴鍍方法在所述壓電驅動器的表面鍍上抗氧化的金屬保護層。

3.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述有機清洗液為汽油、乙醚、丙酮和乙醇中的一種或是按比例混合成的有機溶液。

4.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述退火處理步驟之前還包括干燥步驟；用連接有氮氣瓶的離子風槍對清洗干凈的驅動器件吹氣，直至表面徹底風干。

5.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述退火處理步驟具體包括：

將干燥的驅動器件安裝到退火爐內設置的支撐座上；

在所述驅動器件的兩端分別連接電源的通電導線；

從退火爐一端的開口向退火爐內持續通入保護氣體，以使保護氣體充滿退火爐，并從所述退火爐另一端的開口流出；

啟動電源，將所述驅動器件電加熱到300～400℃，并保溫3～4小時后關閉電源，使所述驅動器件逐漸冷卻；

當所述驅動器件的溫度達到室溫時，停止向退火爐內通入保護氣體，并將所述驅動器件從所述退火爐中取出。

6.根據權利要求5所述的加工方法，其特征在于，所述保護氣體為氮氣或惰性氣體。

7.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述表面噴砂步驟中的高壓磨料噴束為高壓白剛玉微粉噴束。