[發(fā)明專利]衍射距離校準(zhǔn)方法及系統(tǒng)和圖像重建方法及系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910659780.3 | 申請(qǐng)日: | 2019-07-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110308117B | 公開(公告)日: | 2021-08-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 馬銳;楊棟宇;于韜;祝玉鵬;孫鑫凱;陶冶;張書源;史祎詩(shī) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01N21/47 | 分類號(hào): | G01N21/47;G01N21/27 |
| 代理公司: | 北京高沃律師事務(wù)所 11569 | 代理人: | 劉鳳玲 |
| 地址: | 100049 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 衍射 距離 校準(zhǔn) 方法 系統(tǒng) 圖像 重建 | ||
1.一種衍射距離的校準(zhǔn)方法,其特征在于,所述校準(zhǔn)方法包括:
獲取樣品的衍射圖強(qiáng)度、衍射距離計(jì)算值、校準(zhǔn)步長(zhǎng)和衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度;
對(duì)所述衍射圖強(qiáng)度施加隨機(jī)相位約束,獲得衍射圖復(fù)振幅分布;
根據(jù)衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度和校準(zhǔn)步長(zhǎng)確定校準(zhǔn)總步數(shù);
根據(jù)所述衍射圖復(fù)振幅分布確定每一步校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的振幅分布圖;
計(jì)算各所述振幅分布圖的圖像熵;
根據(jù)各所述圖像熵的大小對(duì)所述衍射距離計(jì)算值進(jìn)行校準(zhǔn);
所述根據(jù)各所述圖像熵的大小對(duì)所述衍射距離計(jì)算值進(jìn)行校準(zhǔn),具體包括:
對(duì)各所述圖像熵進(jìn)行排序,篩選出最大的圖像熵;
將圖像熵最大的振幅分布圖對(duì)應(yīng)的衍射距離作為校準(zhǔn)后的衍射距離,校準(zhǔn)后的衍射距離為其中,d表示校準(zhǔn)后的衍射距離,n*表示圖像熵最大的振幅分布圖對(duì)應(yīng)的校準(zhǔn)步數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校準(zhǔn)方法,其特征在于,所述對(duì)所述衍射圖強(qiáng)度施加隨機(jī)相位約束,獲得衍射圖復(fù)振幅分布,具體包括:
根據(jù)公式:對(duì)所述衍射圖強(qiáng)度施加隨機(jī)相位約束,獲得衍射圖復(fù)振幅分布;其中,ψ(X,Y)M,N表示復(fù)振幅,I(X,Y)M,N表示衍射圖強(qiáng)度,exp[i2πφM,N(X,Y)]表示隨機(jī)相位函數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校準(zhǔn)方法,其特征在于,所述根據(jù)衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度和校準(zhǔn)步長(zhǎng)確定校準(zhǔn)總步數(shù),具體包括:
根據(jù)公式:確定校準(zhǔn)總步數(shù);其中,L表示總步數(shù),D表示衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度,Δd表示校準(zhǔn)步長(zhǎng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的校準(zhǔn)方法,其特征在于,所述根據(jù)所述衍射圖復(fù)振幅分布確定每一步校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的振幅分布圖,具體包括:
將所述衍射圖復(fù)振幅分布逆衍射到樣品平面,獲得每一步校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的樣品平面復(fù)振幅分布;
對(duì)各所述樣品平面復(fù)振幅分布進(jìn)行取模運(yùn)算,獲得每一步校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的振幅分布圖。
5.一種衍射距離的校準(zhǔn)系統(tǒng),其特征在于,所述校準(zhǔn)系統(tǒng)包括:
參數(shù)獲取模塊,用于獲取樣品的衍射圖強(qiáng)度、衍射距離計(jì)算值、校準(zhǔn)步長(zhǎng)和衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度;
相位約束模塊,用于對(duì)所述衍射圖強(qiáng)度施加隨機(jī)相位約束,獲得衍射圖復(fù)振幅分布;
校準(zhǔn)步數(shù)確定模塊,用于根據(jù)衍射距離區(qū)間長(zhǎng)度和校準(zhǔn)步長(zhǎng)確定校準(zhǔn)總步數(shù);
振幅分布圖確定模塊,用于根據(jù)所述衍射圖復(fù)振幅分布確定每一步校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的振幅分布圖;
圖像熵計(jì)算模塊,用于計(jì)算各所述振幅分布圖的圖像熵;
校準(zhǔn)模塊,用于根據(jù)各所述圖像熵的大小對(duì)所述衍射距離計(jì)算值進(jìn)行校準(zhǔn);
所述校準(zhǔn)模塊,具體包括:
最大圖像熵子模塊,用于對(duì)各所述圖像熵進(jìn)行排序,篩選出最大的圖像熵;
校準(zhǔn)子模塊,用于將圖像熵最大的振幅分布圖對(duì)應(yīng)的衍射距離作為校準(zhǔn)后的衍射距離,校準(zhǔn)后的衍射距離為其中,d表示校準(zhǔn)后的衍射距離,n*表示圖像熵最大的振幅分布圖對(duì)應(yīng)的校準(zhǔn)步數(shù)。
6.一種圖像重建方法,其特征在于,所述圖像重建方法包括:
采用權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的校準(zhǔn)方法對(duì)疊層顯微成像裝置的衍射距離計(jì)算值進(jìn)行校準(zhǔn),獲得校準(zhǔn)衍射距離;
根據(jù)所述校準(zhǔn)衍射距離,采用疊層重建成像方法對(duì)成像目標(biāo)進(jìn)行圖像重建。
7.一種圖像重建系統(tǒng),其特征在于,所述圖像重建系統(tǒng)包括:
衍射距離校準(zhǔn)模塊,用于采用權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的校準(zhǔn)方法對(duì)疊層顯微成像裝置的衍射距離計(jì)算值進(jìn)行校準(zhǔn),獲得校準(zhǔn)衍射距離;
成像模塊,用于根據(jù)所述校準(zhǔn)衍射距離,采用疊層重建成像方法對(duì)成像目標(biāo)進(jìn)行圖像重建。
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G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
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