[發(fā)明專利]等離子負壓放電裝置

在審

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• 申請日: 2019-07-19
• 公開（公告）號: CN110337171A
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發(fā)明（設計）人: 周兆瑞;侯正奇;崔建業(yè)
• 申請（專利權(quán)）人: 天泓環(huán)境科技有限責任公司
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30;H05H1/28
• 代理公司: 青島發(fā)思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 馬俊榮

1.一種等離子負壓放電裝置，其特征在于：包括放電倉(16)，放電倉(16)上設有氣體入口和氣體出口，氣體出口連接真空泵(26)，放電倉(16)內(nèi)設有兩個無介質(zhì)電極，電極上投加中高頻交流電。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的兩個無介質(zhì)電極為環(huán)形的外電極(6)、球形或圓柱形的內(nèi)電極(10)，內(nèi)電極(10)位于外電極(6)中心位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的外電極(6)為環(huán)形盤管，內(nèi)電極(10)為空心球體或空心圓柱體，環(huán)形盤管、空心球體或空心圓柱體內(nèi)通循環(huán)冷卻水。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的環(huán)形盤管一端為冷卻水入口(23)，另一端為冷卻水出口(22)，冷卻水入口(23)、冷卻水出口(22)通過外電極固定法蘭(20)固定于放電倉(16)外，冷卻水入口(23)、冷卻水出口(22)與外電極固定法蘭(20)之間設有外電極絕緣體(21)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的空心球體或空心圓柱體的內(nèi)腔連通回水管(8)和進水管(9)，進水管(9)套設在回水管(8)內(nèi)，通過內(nèi)電極固定法蘭(25)固定在倉體上，內(nèi)電極固定法蘭(25)連接有三通接頭(24)，進水管(9)從三通接頭(24)的主管中穿過，回水管(8)與三通接頭(24)的支管相連通，回水管(8)外包覆有內(nèi)電極絕緣體(7)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的外電極(6)通過絕緣固定柱(14)、固定柱支架(15)固定在放電倉(16)內(nèi)，外電極(6)連接絕緣固定柱(14)，絕緣固定柱(14)連接固定柱支架(15)，固定柱支架(15)設置在放電倉(16)內(nèi)壁上；外電極(6)與放電倉(16)的內(nèi)壁之間填充有絕緣材料(13)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的放電倉(16)內(nèi)，外電極(6)上方設有微孔均流板(5)，回水管(8)和進水管(9)貫穿所述的微孔均流板(5)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的氣體入口連接進氣管道(1)，進氣管道(1)上設有流量計(2)和進氣閥(3)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的氣體出口設置升高管(11)，升高管(11)置入放電倉(16)內(nèi)，升高管(11)置入部分的上半段設有若干通孔，升高管(11)另一端連接排氣管道(18)，排氣管道(18)上設有排氣閥(17)和真空泵(26)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子負壓放電裝置，其特征在于：所述的放電倉(16)上設有壓力表(4)和視口(12)。