[發(fā)明專利]諧振腔式ECR等離子體源裝置以及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910649890.1 | 申請日： | 2019-07-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110234195A | 公開（公告）日： | 2019-09-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉宇;張仲愷;雷久侯;曹金祥 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H05H1/46 | 分類號(hào)： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 張靜 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 諧振腔 天線 密封罩 源裝置 等離子體 等離子體能量 電子回旋共振 放電天線 控制元件 耦合效率 電磁波 磁場 微波 輻射 污染 | ||
1.一種諧振腔式ECR等離子體源裝置，其特征在于，包括：
真空諧振腔，用于使得設(shè)定頻率的微波產(chǎn)生諧振；
置于所述真空諧振腔內(nèi)的天線密封罩，所述天線密封罩具有連接外部大氣的天線開口；
通過所述開天線口置于所述天線密封罩中的天線，所述天線用于通過所述密封天線罩向所述真空諧振腔輻射所述微波；
置于所述真空諧振腔外部的ECR控制元件，用于在所述真空諧振腔內(nèi)產(chǎn)生電子回旋共振所需磁場，以在所述真空諧振腔內(nèi)產(chǎn)生ECR等離子體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述真空諧振腔包括：圓筒本體，所述圓筒本體的底端密封，其頂端設(shè)置有諧振增強(qiáng)環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述ECR控制元件為磁場線圈，由多匝線圈繞制，用于連接直流穩(wěn)流電源。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述磁場線圈為漆包線繞制的電磁線圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述天線密封罩為石英玻璃罩。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述天線為棒狀天線，其一端通過所述天線開口置于所述天線密封罩中，另一端連接微波源產(chǎn)生電路；
所述棒狀天線內(nèi)部具有水冷結(jié)構(gòu)。
7.一種ECR等離子體產(chǎn)生方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的裝置產(chǎn)生ECR等離子體。
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