[發(fā)明專利]用于借助電磁射束檢測物體表面的設(shè)備和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910643145.6 | 申請日： | 2019-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN110726382B | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | A.貝切;D.貝克曼 | 申請（專利權(quán)）人： | 卡爾蔡司工業(yè)測量技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/25 | 分類號： | G01B11/25;G01B11/24;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 借助 電磁 檢測 物體 表面 設(shè)備 方法 | ||
1.一種用于檢測物體表面(16)的設(shè)備(10)，該設(shè)備具有：
射束產(chǎn)生裝置(17)，該射束產(chǎn)生裝置具有至少一個射束源(12)，其中該射束產(chǎn)生裝置(17)被配置成用于使具有第一波長的第一電磁射束和具有第二波長的第二電磁射束照射到物體表面(16)的至少一個待測量的測量點(32)上或照射到物體表面(16)的待測量區(qū)域上，該待測量區(qū)域具有至少一個待測量的測量點(32)，其中該射束產(chǎn)生裝置(17)被配置成用于在該第一波長與該第二波長之間的波長范圍中不使射束或不使用于表面檢測的射束照射到該物體表面(16)的待測量的測量點(32)上或區(qū)域上；以及
檢測裝置(31)，該檢測裝置被配置成用于針對該待測量的測量點(32)或針對這些待測量的測量點(32)分別檢測至少一個第一測量值和至少一個第二測量值，其中該第一測量值基于從該物體表面(16)反射的、具有第一波長的射束，而該第二測量值基于從該物體表面(16)反射的、具有第二波長的射束，
其特征在于，
該第一測量值和該第二測量值分別是距離該物體表面(16)的距離值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備(10)，
其中該射束產(chǎn)生裝置(17)被配置成用于使具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束至少暫時地同時照射到該物體表面(16)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備(10)，
其中該檢測裝置(31)被配置成用于在同時照射期間檢測具有該第一波長和該第二波長的反射射束。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
其中該設(shè)備(10)被配置成用于使具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束以彼此不同的強度照射到該物體表面(16)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
該設(shè)備進一步包括射束衰減器(55)，以便在由該檢測裝置(31)檢測之前使具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束中的至少一者衰減；和/或
其中針對具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束，該檢測裝置(31)具有不同的靈敏度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
其中該射束產(chǎn)生裝置(17)被配置成用于使具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束以彼此成角度的方式照射到該物體表面(16)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備10)，
其中該射束產(chǎn)生裝置(17)被配置成用于使具有該第一波長的該第一電磁射束和具有該第二波長的該第二電磁射束以基本沿著或平行于共同的射束軸線(18，22)的方式照射到該物體表面(16)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
其中該檢測裝置(31)包括分光元件(36)，以便將從該物體表面(16)反射的射束劃分成第一射束分量和第二射束分量。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
該設(shè)備進一步包括信息確定裝置(60)，該信息確定裝置被配置成基于這些測量值來確定物體信息，其中針對該測量點或這些測量點(32)中的每個測量點，考慮與此相關(guān)的第一測量值和第二測量值中的至少一者。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備(10)，
其中該信息確定裝置(60)被配置成針對至少一個測量點(32)考慮第一測量值和第二測量值中的僅一者，和/或針對至少一個測量點(32)基于第一測量值和第二測量值來確定總測量值。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的設(shè)備(10)，
其中該射束產(chǎn)生裝置(17)包括第一射束源(12)以用于產(chǎn)生該第一電磁射束，并且該射束產(chǎn)生裝置包括第二射束源(12)以用于產(chǎn)生該第二電磁射束，并且其中這些射束源(12)分別被設(shè)計成激光源。
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