[發明專利]一種OLED蒸鍍用坩堝在審
| 申請號: | 201910639694.6 | 申請日: | 2019-07-16 |
| 公開(公告)號: | CN110373633A | 公開(公告)日: | 2019-10-25 |
| 發明(設計)人: | 張銘今;張麒麟 | 申請(專利權)人: | 福建華佳彩有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司: | 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 張明 |
| 地址: | 351100 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 蒸鍍 噴嘴 坩堝 材料沉積 加熱裝置 器件壽命 異常處理 坩堝本體 均勻性 預設 薄膜 蒸汽 體內 堵塞 勞動 保證 | ||
本發明涉及坩堝技術領域,特別涉及一種OLED蒸鍍用坩堝,通過在噴嘴上設置加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內,能夠避免蒸鍍蒸汽在噴嘴處出現材料沉積而堵塞噴嘴的情況,保證蒸鍍速率穩定正常,提高蒸鍍薄膜的均勻性,改善OLED器件的品質及提高器件壽命,減輕人力勞動及縮短異常處理時間。
技術領域
本發明涉及坩堝技術領域,特別涉及一種OLED蒸鍍用坩堝。
背景技術
有機發光二極管(Organic Light-emitting Diode,簡稱為OLED)是新一代的顯示技術,在目前OLED真空蒸鍍制程中,坩堝作為蒸鍍設備的蒸發源,坩堝本體中盛放金屬或有機材料,受熱后材料汽化再經由坩堝上蓋的噴嘴溢出,最終沉積到基板上形成有機薄膜,用于實現OLED器件發光。但是,現有蒸鍍用坩堝本體有加熱系統供熱,而坩堝上蓋不會,因此坩堝本體與噴嘴處溫度不一致也就有溫度差,汽化的蒸鍍材料經過噴嘴時由于溫度降低冷凝,附著到噴嘴周圍,一定時間后就會造成噴嘴堵塞,造成蒸鍍速率降低,且不穩定,基板薄膜均勻性受到影響,最后引起OLED器件品質與壽命降低。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是:提供一種能夠防止噴嘴堵塞的OLED蒸鍍用坩堝。
為了解決上述技術問題,本發明采用的技術方案為:
一種OLED蒸鍍用坩堝,包括上端具有開口的坩堝本體和蓋設在所述開口處的坩堝上蓋,所述坩堝上蓋設有供坩堝本體內的噴射物向外噴射的噴嘴,所述噴嘴上設有加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內。
本發明的有益效果在于:
通過在噴嘴上設置加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內,能夠避免蒸鍍蒸汽在噴嘴處出現材料沉積而堵塞噴嘴的情況,保證蒸鍍速率穩定正常,提高蒸鍍薄膜的均勻性,改善OLED器件的品質及提高器件壽命,減輕人力勞動及縮短異常處理時間。
附圖說明
圖1為根據本發明的一種OLED蒸鍍用坩堝的結構示意圖;
圖2為根據本發明的一種OLED蒸鍍用坩堝的結構拆解圖;
標號說明:
1、坩堝本體;2、坩堝上蓋;3、噴嘴;4、加熱裝置;5、環形石墨墊片。
具體實施方式
為詳細說明本發明的技術內容、所實現目的及效果,以下結合實施方式并配合附圖予以說明。
本發明最關鍵的構思在于:通過在噴嘴上設置加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內。
請參照圖1和圖2,本發明提供的技術方案:
一種OLED蒸鍍用坩堝,包括上端具有開口的坩堝本體和蓋設在所述開口處的坩堝上蓋,所述坩堝上蓋設有供坩堝本體內的噴射物向外噴射的噴嘴,所述噴嘴上設有加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內。
從上述描述可知,本發明的有益效果在于:
通過在噴嘴上設置加熱裝置以使OLED蒸鍍時噴嘴上的溫度高于坩堝本體的溫度且噴嘴上的溫度與坩堝本體內的溫度的差在預設閾值范圍內,能夠避免蒸鍍蒸汽在噴嘴處出現材料沉積而堵塞噴嘴的情況,保證蒸鍍速率穩定正常,提高蒸鍍薄膜的均勻性,改善OLED器件的品質及提高器件壽命,減輕人力勞動及縮短異常處理時間。
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