[發明專利]一種評估電容式非接觸位移測量系統穩定性的裝置及方法

在審

• 申請號: 201910634114.4
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN110230974A
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 李楊宗;段發階;葉德超;周琦
• 申請（專利權）人: 善測（天津）科技有限公司
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 劉子文

1.一種評估電容式非接觸位移測量系統穩定性的裝置，其特征在于，包括評估裝置，所述評估裝置用于等效于電容式位移傳感器探頭與待測面間隙恒定不變時的狀態，所述評估裝置由標準電容和三同軸電纜相互連接構成，其中所述三同軸電纜包括外屏蔽層、內屏蔽層和芯極，標準電容的兩端分別與所述三同軸電纜一端的外屏蔽層和芯極連接，三同軸電纜的另一端通過連接公頭、連接母頭和三同軸延伸電纜最終與電容式非接觸位移測量系統連接。

2.一種評估電容式非接觸位移測量系統穩定性的方法，基于權利要求1所述評估電容式非接觸位移測量系統穩定性的裝置，其特征在于，記電容式非接觸位移測量系統的滿量程為f_s，標準電容C對應的間隙值為d，包括以下步驟：

(1)評估電容式非接觸位移測量系統的長期工作穩定性；電容式非接觸位移測量系統開啟后顯示標準電容C對應的間隙值初始示數為d₁，經過時間t后的示數為d₂，則單位時間內的漂移為：

(2)評估電容式非接觸位移測量系統的環境溫度變化穩定性；將電容式非接觸位移測量系統置于恒溫恒濕箱中，t₁時刻溫度為T₁，標準電容C對應的間隙值示數顯示為d₃；t₂時刻溫度為T₂，示數顯示為d₄，則單位溫度變化下的漂移量為：

其中f_s、d、d₁、d₂、d₃、d₄的單位為微米，t、t₁、t₂的單位為秒，T₁、T₂的單位為攝氏度；

(3)通過改變標準電容C的大小，制作不同規格的評估裝置，以模擬在不同間隙變化下電容式非接觸位移測量系統的穩定性，實現對電容式非接觸位移測量系統的全面評估。