[發明專利]MEMS換能器及包括MEMS換能器的電容式麥克風

有效

• 申請號: 201910631047.0
• 申請日: 2013-09-19
• 公開（公告）號: CN110351643B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: C·R·詹金斯;T·胡克斯特拉;E·博伊德
• 申請（專利權）人: 思睿邏輯國際半導體有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 關麗麗;鄭建暉

1.一種MEMS換能器，所述MEMS換能器包括一個柔性膜和至少一個可變通氣部結構，其中所述可變通氣部結構包括至少兩個可移動部，所述至少兩個可移動部響應于所述柔性膜兩側的壓力差能夠被偏轉遠離所述柔性膜的其余部分的表面，以暴露所述柔性膜中的一個孔。

2.如權利要求1所述的MEMS換能器，其中所述可移動部各自由延伸穿過所述柔性膜的一個通道限定，所述通道包括一個共同的通道部，該共同的通道部限定第一可移動部和第二可移動部的相鄰邊緣。

3.如權利要求1或2所述的MEMS換能器，其中可變通氣部結構包括兩個可移動部，所述兩個可移動部能夠被偏轉遠離所述柔性膜的其余部分的表面，以暴露所述柔性膜中的單個孔。

4.如權利要求1或2所述的MEMS換能器，其中流動路徑在垂直于所述柔性膜的方向上的尺寸響應于所述柔性膜兩側的壓力差而由兩個可移動部之間所打開的間隙限定。

5.如權利要求1或2所述的MEMS換能器，其中所述可移動部是下列形狀中的一個：三角形形狀、圓形形狀、橢圓形形狀、長方形形狀或梯形形狀。

6.如權利要求2所述的MEMS換能器，其中所述可移動部中的每個通過一個梁結構被連接至所述柔性膜的其余部分。

7.如權利要求6所述的MEMS換能器，其中所述可移動部從所述梁結構至所述共同的通道部各自具有相同的尺度。

8.如權利要求1或2所述的MEMS換能器，其中所述MEMS換能器還包括一個背板結構，其中所述柔性膜相對于所述背板結構被支撐，且其中所述背板結構包括穿過所述背板結構的多個孔。

9.如權利要求8所述的MEMS換能器，其中穿過所述背板結構的所述多個孔中的至少一個在相應于所述可變通氣部結構的位置的一個位置中包括一個通氣孔。

10.如權利要求8所述的MEMS換能器，其中穿過所述背板結構的所述多個孔中的至少一個覆在所述柔性膜中的所述可變通氣部結構上。

11.如權利要求8所述的MEMS換能器，其中所述背板結構中的所述多個孔中的至少一個孔覆在所述可變通氣部結構上的區域在所述柔性膜中的所述可變通氣部結構首先打開的位置處，橫向遠離所述柔性膜中的所述可變通氣部結構的打開區域而延伸。

12.如權利要求8所述的MEMS換能器，其中：

所述可移動部中的每個通過一個梁結構被連接至所述柔性膜的其余部分；

所述可移動部和對應的梁結構由貫穿所述柔性膜的通道限定；以及

所述柔性膜中限定所述梁結構的所述通道的位置不與所述背板結構中的所述多個孔中的任何一個的位置交疊。

13.一種MEMS換能器，所述MEMS換能器包括一個柔性膜和至少一個可變通氣部結構，其中所述可變通氣部結構提供一個流動路徑，所述流動路徑具有隨著所述柔性膜兩側的壓力差而變化的尺寸，其中所述可變通氣部結構包括兩個可移動部，所述兩個可移動部能夠被偏轉遠離所述柔性膜的其余部分的表面，以暴露所述柔性膜中的單個孔，其中所述可移動部各自由延伸穿過所述柔性膜的至少一個通道限定，所述通道包括一個共同的通道部，該共同的通道部限定第一可移動部和第二可移動部的相鄰邊緣。

14.如權利要求13所述的MEMS換能器，其中所述可移動部是下列形狀中的一個：三角形形狀、圓形形狀、橢圓形形狀、長方形形狀或梯形形狀。

15.如權利要求13或14所述的MEMS換能器，其中所述可移動部中的每個通過一個梁結構被連接至所述柔性膜的其余部分。