[發(fā)明專利]一種壓電沖擊驅(qū)動二維并聯(lián)跨尺度精密定位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910620375.0
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN110336485B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘成亮;張婷;戴天亮;于連棟;夏豪杰;李維詩;楊飛;石超
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: H02N2/04
• 分類號: H02N2/04
• 代理公司: 合肥中博知信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34142
• 代理人: 肖健

1.一種壓電沖擊驅(qū)動二維并聯(lián)跨尺度精密定位平臺，其特征在于：包括微動平臺、底座、平板和磁鐵，所述微動平臺由動子、柔性支架、基座和壓電驅(qū)動器組成；

所述動子設(shè)置于微動平臺的中心位置并通過四組柔性支架與基座連接，所述壓電驅(qū)動器安裝在柔性支架與基座之間，所述壓電驅(qū)動器的數(shù)量至少為兩個，安裝在正交方向上，并分別推動動子進(jìn)行XY方向位移；

所述的底座整體為方形，上表面的四角位置設(shè)置有凸臺，上表面的中心位置設(shè)置有沉孔，所述微動平臺的基座通過螺釘固定安裝在底座的凸臺上，所述磁鐵為圓柱形，底部通過環(huán)氧膠固結(jié)在底座中心的沉孔內(nèi)；

所述微動平臺通過基座固定在底座的上方，所述動子的中心位置設(shè)置有通孔，所述磁鐵固定于底座的中心并穿過動子的通孔；

所述動子的四角位置對稱設(shè)置有四個小球；

所述平板至少包含兩層，最下層為耐磨層，與動子的小球摩擦耦合，次下層為鐵磁層，受磁鐵吸引形成平板與動子之間的預(yù)壓力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電沖擊驅(qū)動二維并聯(lián)跨尺度精密定位平臺，其特征在于：所述的微動平臺整體為方形，每組所述柔性支架包含相互垂直的鉸鏈結(jié)構(gòu)；

所述壓電驅(qū)動器為壓電陶瓷疊堆，與所述基座的接觸位置設(shè)置有緊定螺釘用于調(diào)節(jié)壓電驅(qū)動器的預(yù)緊力；

所述的動子整體為方形，中心位置的通孔為圓形，所述動子的四角位置對稱設(shè)置有沉孔，并分別通過環(huán)氧膠固結(jié)小球。