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[發明專利]一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置在審

專利信息
申請號: 201910608979.3 申請日: 2019-07-08
公開(公告)號: CN110280319A 公開(公告)日: 2019-09-27
發明(設計)人: 徐濤;于征磊 申請(專利權)人: 天津市卓輝電子有限公司
主分類號: B01L9/00 分類號: B01L9/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 300000 天津市*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 坩堝 遮擋盤 夾取裝置 十字支撐 夾取 縱向連接裝置 遮擋裝置 夾取部 碳化硅 制備 固定設置 實驗過程 移動坩堝 轉動連接 坩堝結構 板安裝 操作桿 傳統的 下端面 支撐爪 中心處 坩堝鉗 托環 下端 裝夾 傷害 保證 研究
【權利要求書】:

1.一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置,包括夾取部(1)、操作桿(2)和托環(3),其特征在于:所述夾取部(1)包括遮擋裝置(11)、十字支撐板(12)和支撐爪(13),所述遮擋裝置(11)包括遮擋盤(111)和縱向連接裝置(112),所述縱向連接裝置(112)固定設置在遮擋盤(111)下端面,所述十字支撐板(12)安裝在遮擋盤(111)下端面的中心處,且十字支撐板(12)與遮擋盤(111)轉動連接,所述支撐爪(13)安裝在十字支撐板(12)的頭部,且支撐爪(13)通過轉架機構(14)與十字支撐板(12)滑動連接,所述操作桿(2)安裝在縱向連接裝置(112)的下端,且操作桿(2)與縱向連接裝置(112)滑動配合連接,所述托環(3)安裝在操作桿(2)的下端,且操作桿(2)的下端面焊接在托環(3)的上端面,所述托環(3)包括滑動座(31)和包圍環(32),所述包圍環(32)安裝在滑動座(31)的內部,且包圍環(32)與滑動座(31)滑動連接。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置,其特征在于,所述縱向連接裝置(112)包括穩定臺(1121)、滑桿(1122)和操作部(114),所述穩定臺(1121)焊接在遮擋盤(111)下端面的一側,且穩定臺(1121)中部開設有條形槽(1123),所述滑桿(1122)垂直設置在穩定臺(1121)的下端面上,且滑桿(1122)與穩定臺(1121)通過焊接相固定,所述操作部(114)設置在條形槽(1123)的內部,且操作部(114)與穩定臺(1121)滑動連接,所述操作部(114)包括滑條(1141)、連接頭(1142)和限位塊(1143),所述滑條(1141)滑動安裝在條形槽(1123)內部,所述連接頭(1142)設置在滑條(1141)的頭部,且連接頭(1142)與滑條(1141)一體成型,所述限位塊(1143)對稱焊接在滑條(1141)的左右兩側,且限位塊(1143)通過彈性元件(1144)與穩定臺(1121)的外側面相連接,所述彈性元件(1144)一端固定在限位塊(1143)的外側面上,另一端固定在穩定臺(1121)的外側面上。

3.根據權利要求2所述的一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置,其特征在于,所述十字支撐板(12)包括板體(121)、輔助板(122)和安裝槽(123),所述板體(121)外側面上均勻設置有若干個方形條(1211),所述方形條(1211)的數量至少為三條,且方形條(1211)與板體(121)一體成型,所述輔助板(122)設置在方形條(1211)之間,且輔助板(122)與板體(121)一體成型,所述輔助板(122)上端面設置有限位滑槽板(1221),所述限位滑槽板(1221)對稱設置在輔助板(122)中心線的兩側,且限位滑槽板(1221)與輔助板(122)固定連接,所述安裝槽(123)設置在板體(121)上端面的中心處。

4.根據權利要求3所述的一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置,其特征在于,所述支撐爪(13)安裝在方形條(1211)的外側面上,且支撐爪(13)與方形條(1211)滑動連接,所述支撐爪(13)包括回字條(131)、弧形支撐板(132)和防滑條(133),所述回字條(131)套在方形條(1211)上,且回字條(131)上還設置有第一轉軸桿(1311),且第一轉軸桿(1311)垂直固定在回字條(131)的上端面,所述弧形支撐板(132)設置在回字條(131)的頭部,且弧形支撐板(132)與回字條(131)一體成型,所述防滑條(133)均勻的固定在弧形支撐板(132)的外側面上。

5.根據權利要求4所述的一種碳化硅制備用的坩堝夾取裝置,其特征在于,所述轉架機構(14)包括圓周盤(141)、傳動桿(142)和主動滑條(143),所述圓周盤(141)安裝在安裝槽(123)內,且圓周盤(141)與安裝槽(123)轉動連接,所述圓周盤(141)包括凸輪(1411)、第二轉軸桿(1412)和底座(1413),所述底座(1413)安裝在安裝槽(123)內,所述凸輪(1411)設置在底座(1413)的上端,且凸輪(1411)與底座(1413)固定連接,所述第二轉軸桿(1412)均勻的設置在凸輪(1411)與底座(1413)之間,且第二轉軸桿(1412)與凸輪(1411)和底座(1413)均固定連接。

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