[發明專利]一種提高低壓擴散產能的增加氮氣回充流量裝置在審
| 申請號： | 201910608452.0 | 申請日： | 2019-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN110205680A | 公開（公告）日： | 2019-09-06 |
| 發明（設計）人： | 徐碩;熊志宏 | 申請（專利權）人： | 通威太陽能（合肥）有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/16 | 分類號： | C30B31/16;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 昆明合眾智信知識產權事務所 53113 | 代理人： | 葉春娜 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產能 氮氣 擴散爐 氣動閥 爐管 流量裝置 依次連接 出氣口 連接頭 側壁 內腔 進氣口 浮子流量計 擴散 實用效果 主流量計 插接 多路 統計 | ||
1.一種提高低壓擴散產能的增加氮氣回充流量裝置，包括擴散爐爐管(1)，所述擴散爐爐管(1)連接有主回充管(2)，所述主回充管(2)遠離擴散爐爐管(1)一端依次連接有主氣動閥(3)和主流量計(4)，其特征在于：所述主回充管(2)上插接有輔回充管(5)，所述輔回充管(5)遠離主回充管(2)一端依次連接有輔氣動閥(6)和浮子流量計(7)。
2.根據權利要求1所述的一種提高低壓擴散產能的增加氮氣回充流量裝置，其特征在于：所述輔回充管(5)和輔氣動閥(6)之間設置有連接頭(8)，所述連接頭(8)中開設有內腔(9)，所述內腔(9)一側側壁開設有出氣口(10)，且內腔(9)遠離出氣口(10)一側側壁開設有四個進氣口(11)；
所述進氣口(11)靠近出氣口(10)一側活動貼設有擋氣板(12)，且進氣口(11)兩側均開設有凹槽(13)，所述凹槽(13)中設置有拉緊彈簧(14)，所述拉緊彈簧(14)與擋氣板(12)固定連接；
所述輔回充管(5)固定插接在出氣口(10)中，所述進氣口(11)中活動插設有調節管(15)，所述輔氣動閥(6)和浮子流量計(7)均固定在調節管(15)遠離連接頭(8)一端。
3.根據權利要求2所述的一種提高低壓擴散產能的增加氮氣回充流量裝置，其特征在于：所述調節管(15)靠近連接頭(8)一端連接有固定套(16)，所述固定套(16)通過緊固螺釘(17)固定于連接頭(8)上。
4.根據權利要求2所述的一種提高低壓擴散產能的增加氮氣回充流量裝置，其特征在于：所述擋氣板(12)靠近進氣口(11)一側固定連接有密封層。
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