[發明專利]一種擴散式光聲微腔氣體傳感器

在審

• 申請號: 201910604705.7
• 申請日: 2019-07-05
• 公開（公告）號: CN110333190A
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 陳珂;陳燁偉;劉帥;鄧紅
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17;G01N21/39
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 溫福雪;侯明遠

1.一種擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器包括光源(1)、光聲微腔(2)、小孔(3)、麥克風(4)、電路板(6)和顯示屏(6)；在光聲微腔(2)側壁上開有小孔(3)，待測氣體經過小孔(3)擴散進入到光聲微腔(2)中；電路板(6)驅動光源(1)，發射的光聲激勵光入射到光聲微腔(2)中；麥克風(4)探測光聲微腔(2)中產生的光聲壓力波，電路板(6)測量光聲信號的幅度后計算出待測氣體的濃度；顯示屏(6)與電路板(6)相連，用于顯示氣體濃度值。

2.根據權利要求1所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的光源(1)是LED或波長可調諧窄線寬激光光源。

3.根據權利要求1或2所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的小孔(3)的數量大于等于1。

4.根據權利要求1或2所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的麥克風(4)是駐極體麥克風或MEMS麥克風。

5.根據權利要求3所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的麥克風(4)是駐極體麥克風或MEMS麥克風。

6.根據權利要求1、2或5所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的電路板(6)主要具有光源驅動和信號采集與處理的功能。

7.根據權利要求3所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的電路板(6)主要具有光源驅動和信號采集與處理的功能。

8.根據權利要求4所述的擴散式光聲微腔氣體傳感器，其特征在于，所述的電路板(6)主要具有光源驅動和信號采集與處理的功能。