[發明專利]金屬遮罩

在審

• 申請號: 201910589664.9
• 申請日: 2019-07-02
• 公開（公告）號: CN112176279A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 李仲仁;賴元章
• 申請（專利權）人: 旭暉應用材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種金屬遮罩，其包括一金屬材料的遮罩板體，該遮罩板體界定有一接觸區域，以及位于接觸區域外圍的周邊區域，該接觸區域中設有多個鍍膜圖案孔以及位于相鄰鍍膜圖案孔之間的遮蔽部；其特征在于：

該金屬遮罩包括一蝕刻構造，該蝕刻構造形成于該遮罩板體的一側，且該遮罩板體于所述蝕刻構造沿著該遮罩板體的板厚方向的另一側邊具有一板體基部，所述蝕刻構造包括至少一圖案化蝕刻槽以及位于所述圖案化蝕刻槽中的至少一圖案化肋部，所述圖案化蝕刻槽的蝕刻深度小于或等于該板體基部的厚度，所述圖案化肋部連接所述板體基部。

2.根據權利要求1所述的金屬遮罩，其特征在于，所述蝕刻構造位于該遮蔽部范圍內的總面積大于或等于該接觸區域的總面積的20％，且小于或等于該接觸區域的總面積的85％。

3.根據權利要求1或2所述的金屬遮罩，其特征在于，所述圖案化蝕刻槽的槽寬大于或等于所述圖案化肋部的肋寬，所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽包括多個槽溝單元，多個所述槽溝單元連接一體，使所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽形成連續圖形。

4.根據權利要求1或2所述的金屬遮罩，其特征在于，所述圖案化蝕刻槽的槽寬大于或等于所述圖案化肋部的肋寬，所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽包括多個槽溝單元，所述槽溝單元未完全連接，使所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽的圖案為不連續圖形，位于所述圖案化蝕刻槽中的所述圖案化肋部形成連續圖形，且連接該遮罩板體的周邊區域。

5.一種金屬遮罩，其包括一金屬材料的遮罩板體，該遮罩板體界定有一接觸區域，以及位于接觸區域外圍的周邊區域，該接觸區域中設有多個鍍膜圖案孔以及位于相鄰鍍膜圖案孔之間的遮蔽部；其特征在于：

該金屬遮罩包括兩個蝕刻構造，兩個所述蝕刻構造分別形成于該遮罩板體的相對兩側，該遮罩板體于兩個所述蝕刻構造之間具有一板體基部，所述蝕刻構造包括至少一圖案化蝕刻槽以及位于所述圖案化蝕刻槽中的至少一圖案化肋部，兩個所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽的蝕刻深度總合小于或等于該板體基部的厚度，所述圖案化肋部連接所述板體基部。

6.根據權利要求5所述的金屬遮罩，其特征在于，所述蝕刻構造位于該遮蔽部范圍內的總面積大于或等于該接觸區域的總面積的20％，且小于或等于該接觸區域的總面積的85％，所述圖案化蝕刻槽的槽寬大于或等于所述圖案化肋部的肋寬。

7.根據權利要求5或6所述的金屬遮罩，其特征在于，所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽包括多個槽溝單元，多個所述槽溝單元連接一體，使所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽形成連續圖形。

8.根據權利要求5或6所述的金屬遮罩，其特征在于，所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽包括多個槽溝單元，多個所述槽溝單元未完全連接，使所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽的圖案為不連續圖形，位于所述圖案化蝕刻槽中的所述圖案化肋部形成連續圖形，且連接該遮罩板體的周邊區域。

9.一種金屬遮罩，其包括一金屬材料的遮罩板體，該遮罩板體界定有一接觸區域，以及位于接觸區域外圍的周邊區域，該接觸區域中設有多個鍍膜圖案孔以及位于相鄰鍍膜圖案孔之間的遮蔽部；其特征在于：

該金屬遮罩包括兩個蝕刻構造，兩個所述蝕刻構造分別形成于該遮罩板體的相對兩側，該遮罩板體于兩個所述蝕刻構造之間具有一板體基部，所述蝕刻構造各具有一圖案化蝕刻槽，兩個所述蝕刻構造的圖案化蝕刻槽的蝕刻深度總合小于或等于該板體基部的厚度。

10.根據權利要求9所述的金屬遮罩，其特征在于，所述蝕刻構造位于該遮蔽部范圍內的總面積大于或等于該接觸區域的總面積的20％，且小于或等于該接觸區域的總面積的85％。