[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持裝置及夾持方法

在審

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• 申請日: 2019-07-02
• 公開（公告）號: CN110238152A
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬明亮;魏文榮;王靜;文凱;張晶晶;劉振強(qiáng);周賽;蘇辰
• 申請（專利權(quán)）人: 北京凱盛建材工程有限公司
• 主分類號: B08B11/02
• 分類號: B08B11/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 郭凡;魯兵

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持裝置及夾持方法，包括調(diào)姿部件、連接部件、限位保護(hù)罩和軟囊；調(diào)姿部件與連接部件連接用來控制所述夾持裝置的位置，連接部件上設(shè)有一對相對且對稱的限位保護(hù)罩，限位保護(hù)罩相對的表面分別設(shè)有軟囊。該夾持裝置在棒料預(yù)清洗過程中可實現(xiàn)對硬脆性半導(dǎo)體材料棒料的柔性夾持，不會對棒料表面造成劃傷或者導(dǎo)致不必要的尺寸變形，能夠保持棒料表面的完整和尺寸的精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性夾持輔助工裝技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持裝置及夾持方法。

背景技術(shù)

在光纖、玻璃纖維、晶圓等硬脆性半導(dǎo)體材料棒料的加工過程中，需要對棒料的表面進(jìn)行深度清潔。在送入超聲波清洗機(jī)進(jìn)行深度清潔之前，需要進(jìn)行初步清潔(即預(yù)清洗)，以去除棒料表面殘留的有機(jī)污漬、浮塵、碎屑、無機(jī)污染物等各種外來固體污染物，以避免深度清潔時超聲波清洗機(jī)中堆積過多的固體污染物，從而削弱深度清潔效果，同時也增大超聲波深度清潔的負(fù)荷。在半導(dǎo)體材料棒料，尤其是硬脆性半導(dǎo)體材料棒料的清洗過程中，為了保證光纖棒料的幾何形狀，控制其尺寸精度，在清洗過程中都應(yīng)盡量避免各光纖棒料之間過多的互相接觸及與外界硬度較高材質(zhì)的接觸，減少由接觸所導(dǎo)致的光纖棒料外輪廓尺寸的變形。

公開號為CN105200445A的中國發(fā)明專利申請公開了一種棒料清洗機(jī)，包括上倉蓋、下倉體、支架、底座、第一清洗頭、第二清洗頭、第三清洗頭、負(fù)壓吸引孔和清洗頭固定孔，所述上倉蓋與下倉體通過鉸鏈連接，下倉體通過支架與底座，下倉體內(nèi)依次設(shè)有第一清洗頭、第二清洗頭和第三清洗頭，下倉體底部設(shè)有三個交錯設(shè)置的負(fù)壓吸引孔和清洗頭固定孔，所述第一清洗頭、第二清洗頭和第三清洗頭底部分別與各自對應(yīng)的清洗頭固定孔相連，三個負(fù)壓吸引孔分別與負(fù)壓系統(tǒng)相連。該清洗機(jī)對棒料進(jìn)行蒸汽藥液清洗、蒸汽烘干、負(fù)壓冷卻三個清洗工序，可以一次完成預(yù)清洗的全部操作。但在操作過程中，棒料之間、棒料與清洗機(jī)之間難免會有過多的接觸，易對棒料表面造成劃傷或者導(dǎo)致不必要的尺寸變形，不適用于光纖等高檔半導(dǎo)體材料的初步清潔。

公開號為CN108527409A的中國發(fā)明專利申請公開了一種自適應(yīng)被夾持物形狀的氣動軟體機(jī)械手及其使用方法。該氣動軟體機(jī)械手通過對長條狀柔性腔體內(nèi)部氣壓和顆粒軟體的控制，實現(xiàn)對形狀不規(guī)則或者不確定形狀的目標(biāo)物體的抓取，但該機(jī)械手適用于對單個目標(biāo)物的抓取，而不適用對大規(guī)模棒料的夾持和抓取，特別是對細(xì)長型棒料，其抓取能力非常有限。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)缺陷，第一方面，提供一種能夠保持棒料表面完整和尺寸精度的半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持裝置，所述半導(dǎo)體材料棒料為硬脆性半導(dǎo)體材料棒料，優(yōu)選光纖棒料、玻璃纖維棒料、晶圓棒料等，包括調(diào)姿部件、連接部件、限位保護(hù)罩和軟囊；調(diào)姿部件用來控制所述夾持裝置的位置，與連接部件連接，連接部件上固定設(shè)有一對相對且對稱的限位保護(hù)罩，兩個限位保護(hù)罩相對的表面上分別設(shè)有軟囊。

兩個所述軟囊相對的表面分別固定設(shè)有彈性墊，通過彈性墊上設(shè)置的壓力傳感器來實時監(jiān)測軟囊內(nèi)的壓力。

所述限位保護(hù)罩為一側(cè)向內(nèi)凹陷的敞口凹槽，每一軟囊設(shè)有三個連接塊，三個連接塊分別嵌入限位保護(hù)罩凹槽內(nèi)壁的三個表面。

每一所述軟囊通過一管路接口與一內(nèi)容物供應(yīng)裝置相連，所述內(nèi)容物供應(yīng)裝置用于為軟囊內(nèi)提供壓力。

所述內(nèi)容物為液體或氣體，液體可選自輕質(zhì)礦物油類液體，如輕質(zhì)石蠟油、硅油等，氣體可選自空氣、氮氣、氦氣、氧氣等。

所述軟囊由高彈柔性材料制成，高彈柔性材料優(yōu)選硅膠、橡膠、樹脂等。

所述彈性墊為柔性墊，由硅膠制成，優(yōu)選耐高溫絕緣防滑類的硅膠墊。

第二方面，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持方法，使用上述半導(dǎo)體材料棒料預(yù)清洗柔性夾持裝置，包括夾緊和預(yù)清洗等步驟；