[發明專利]一種TiBx 有效
| 申請號： | 201910587427.9 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110438461B | 公開（公告）日： | 2021-06-29 |
| 發明（設計）人： | 榮銘聰 | 申請（專利權）人： | 廣州大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文;宋靜娜 |
| 地址： | 510006 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 tib base sub | ||
1.一種TiBx/Cr抗氧化多層涂層的制備方法，其特征在于：所述制備方法包括以下步驟：
（i）先在硬質合金基體表面沉積Cr過渡層；
（ii）再交替沉積TiBx插入層與Cr插入層，得到所述TiBx/Cr抗氧化多層涂層；
其中，Cr過渡層和Cr插入層通過直流磁控濺射或高功率脈沖磁控濺射沉積而成，x=1.9~3.5；所述Cr插入層單層厚度為0~20 nm。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：沉積所述Cr過渡層和Cr插入層時，沉積偏壓為0~-200 V。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：在步驟（i）中，將所述硬質合金基體加熱至300~500 ℃，并抽取沉積腔室內氣體至真空度低于0.5 mPa后，通入Ar氣，設定Ar氣流量為350~450 sccm，調節沉積腔室內環境壓力至0.1~0.8 Pa，之后開始沉積Cr過渡層，在步驟（ii）中，在Cr過渡層沉積完成之后，維持基體溫度為300~500 ℃，沉積腔室內環境壓力為0.1~0.8 Pa。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：使用高功率脈沖磁控濺射沉積Cr過渡層和Cr插入層時，設定Cr靶材峰值電流密度0.8~1.2 A/cm2，脈沖長度50~150 μs；脈沖偏壓0~-200 V，頻率與高功率脈沖磁控濺射電源同步，脈沖長度60~200 μs。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：使用直流磁控濺射沉積所述TiBx插入層。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣州大學，未經廣州大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910587427.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
- 一種鋁電解用TiB<sub>2</sub>-TiB/Ti梯度復合多孔陰極材料及其制備方法
- 一種TiB2金屬陶瓷耐磨涂層的制備方法
- 添加稀土La的原位TiB<sub>2</sub>增強銅基復合材料及其制備方法
- 一種鋁電解用TiB2/TiB復合陶瓷陰極材料及其制備方法
- 一種原位合成CNTs增韌TiB2基超高溫陶瓷材料的制備方法
- 一種TiB-TiC-TiB<sub>2</sub>-B<sub>4</sub>C復合陶瓷的快速制備方法
- 一種TiB-TiB<sub>2</sub>復合陶瓷的快速制備方法
- 一種原位合成硼化鈦增強銅基復合材料及其制備方法和應用
- 具有結構梯度的TiB<base:Sub>2
- 一種具有均勻致密TiB<base:Sub>2
- 一種Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>復相熱障涂層材料
- 無鉛[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>納米管及其制備方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一種Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 復合膜及其制備方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 熒光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一種(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制備方法
- 熒光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>復合材料的制備方法
