[發明專利]合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法及裝置

在審

• 申請號: 201910585933.4
• 申請日: 2019-07-01
• 公開（公告）號: CN110318035A
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 麥耀華;朱紅兵
• 申請（專利權）人: 暨南大學
• 主分類號: C23C16/30
• 分類號: C23C16/30;C23C16/44
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 黃媛君

1.合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，包括如下步驟：

將真空腔室抽成真空；

由外部電源加熱真空腔室內的兩條或多條熱絲；

真空腔室內通入至少一種反應氣體；

反應氣體與熱絲表面發生反應形成金屬化合物；

控制熱絲加熱溫度使金屬化合物升華并沉積到位于真空腔室內的襯底基板表面，從而形成金屬化合物薄膜。

2.根據權利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，所述熱絲由單一金屬材料或多元合金材料制成。

3.根據權利要求1或2所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，兩條或多條熱絲組成一組，多組熱絲通過并聯或串聯的方式連接。

4.根據權利要求1或2所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，不同熱絲采用分立式加熱電源進行加熱。

5.根據權利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，真空腔室由真空抽氣系統抽至真空。

6.根據權利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積方法，其特征在于，所述反應氣體為O₂、N₂、H₂S、H₂Se或者CF₄。

7.合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積裝置，其特征在于，包括真空腔室、與真空腔室連接的氣體供應系統和真空抽氣系統，以及位于真空腔室內的兩條或多條熱絲、襯底基板；所述熱絲相互平行安裝在兩個熱絲支撐架上；所述熱絲通過加熱電源連接線與外部電源連接。

8.根據權利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積裝置，其特征在于，所述襯底基板可通過襯底加熱器進行加熱。

9.根據權利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積裝置，其特征在于，所述熱絲與加熱電源連接線的同時連接在電極連接件上。

10.根據權利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多熱絲沉積裝置，其特征在于，所述真空抽氣系統為機械泵和渦輪分子泵。