[發(fā)明專利]激光器組件的非氣密封裝方法及非氣密激光器組件在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910578152.2 | 申請日: | 2019-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN110224294A | 公開(公告)日: | 2019-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃釗;曹夢茹;肖瀟;李振東 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市易飛揚通信技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01S5/022 | 分類號: | H01S5/022 |
| 代理公司: | 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 明霖 |
| 地址: | 518051 廣東省深圳市南*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 激光器組件 焊接 管座 激光器熱沉 非氣密封 隔離器 光路面 透鏡 激光器芯片 適配器 氣密 高溫高濕 膠水 放置孔 上表面 下表面 吸濕 相背 老化 | ||
1.一種激光器組件的非氣密封裝方法,所述激光器組件包括:激光器芯片、激光器熱沉、透鏡、管座、隔離器、調(diào)節(jié)環(huán)和適配器,其特征在于,所述方法包括:
將所述激光器芯片焊接在所述激光器熱沉的上表面;
將所述激光器熱沉的下表面焊接在所述管座的光路面;
將所述透鏡焊接在所述管座的光路面;
將所述隔離器焊接在所述管座的隔離器放置孔;
將所述調(diào)節(jié)環(huán)的一端焊接在所述管座的與所述光路面相背的一端;
將所述適配器的一端焊接在所述調(diào)節(jié)環(huán)的另一端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,所述將所述激光器芯片焊接在所述激光器熱沉的上表面,包括;將所述激光器芯片共晶焊在所述激光器熱沉的上表面;
所述將所述激光器熱沉的下表面焊接在所述管座的光路面,包括:將所述激光器熱沉的下表面共晶焊在所述管座的光路面;
所述將所述透鏡焊接在所述管座的光路面,包括:將所述透鏡共晶焊在所述管座的光路面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,所述將所述激光器芯片共晶焊在所述激光器熱沉的上表面,包括:將所述激光器芯片金錫共晶焊在所述激光器熱沉的上表面;
所述將所述激光器熱沉的下表面共晶焊在所述管座的光路面,包括:將所述激光器熱沉的下表面金錫共晶焊在所述管座的光路面;
所述將所述透鏡共晶焊在所述管座的光路面,包括:將所述透鏡金錫共晶焊在所述管座的光路面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,在將所述激光器芯片金錫共晶焊在所述激光器熱沉的上表面之前,包括:
將所述激光器芯片的下表面鍍金;
在所述激光器熱沉的上表面鍍第一鍍金面,所述第一鍍金面的鍍金參數(shù)包括:在所述激光器熱沉的上表面依次鍍厚度為50nm的鈦鎢合金面、200nm的鎳面、500nm的金面;
在所述第一鍍金面的上表面鍍第一金錫焊料層,所述第一金錫焊料層的金錫焊料包括80%的Au和20%的Sn,所述焊料厚度為6-7um,熔點為280℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,在將所述激光器熱沉的下表面金錫共晶焊在所述管座的光路面之前,包括:
在所述激光器熱沉的下表面鍍第二鍍金面,所述第二鍍金面的鍍金參數(shù)包括:在所述激光器熱沉的下表面依次鍍厚度為50nm的鈦鎢合金面、200nm的鎳面、500nm的金面;
在所述第二鍍金面的下表面鍍第二金錫焊料層,所述第二金錫焊料層的金錫焊料包括80%的Au和20%的Sn,所述焊料厚度為6-7um,熔點為280℃;
將所述管座的光路面依次鍍厚度為10μm的鎳層和600nm的金層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,在將所述透鏡金錫共晶焊在所述管座的光路面之前,包括:
在所述透鏡的下表面鍍鍍金層,所述鍍金層的鍍金參數(shù)包括:在所述透鏡的下表面依次鍍厚度為100nm的鈦層、200nm的鉑層、500nm的金層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,所述將所述隔離器焊接在所述管座的隔離器放置孔,包括:
將所述隔離器激光焊在所述管座的隔離器放置孔,所述激光焊的焊點成正三角形,所述焊點的焊接功率為1.2kW,焊接6個所述焊點,所述6個焊點在所述隔離器放置孔的周圍均勻分布,相鄰所述焊點的夾角為60°。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器組件的非氣密封裝方法,其特征在于,所述將所述調(diào)節(jié)環(huán)的一端焊接在所述管座的與所述光路面相背的一端,包括:
將所述調(diào)節(jié)環(huán)的一端激光焊在所述管座的與所述光路面相背的一端,所述激光焊采用斜30度焊接,所述激光焊的焊點成正三角形,所述焊點的焊接功率為1.2kW,焊接12個所述焊點。
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