[發(fā)明專利]一種整體葉輪的綠色環(huán)保混合化學機械拋光液與拋光方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910578059.1 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110183971A | 公開（公告）日： | 2019-08-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張振宇;廖龍興;孟祥東;郜培麗 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;B24B31/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 21200 | 代理人： | 溫福雪;梅洪玉 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光液 綠色環(huán)保 混合化學 整體葉輪 拋光 混合磨料 氧化劑 刀痕 紋路 表面光潔度 腐蝕性物質 過氧化氫 去離子水 陶瓷磨粒 物理耦合 硝酸 磷酸 等強 硫酸 添加劑 配制 自制 | ||
1.一種整體葉輪的綠色環(huán)保混合化學機械拋光液，其特征在于：該綠色環(huán)保混合化學機械拋光液包括氧化劑、pH調節(jié)劑、添加劑、去離子水和混合磨料；
所述氧化劑為30wt％過氧化氫溶液和/或20wt％過氧乙酸溶液，其在拋光液中含量為250～400ml/L；
所述pH調節(jié)劑為谷氨酸晶體和/或85wt％磷酸溶液，調控拋光液的pH為1.5～3.1；
所述添加劑包括三聚磷酸鈉晶體，其在拋光液中含量為5～9g/L，還包括月桂酰基谷氨酸晶體，其在拋光液中含量為5～10g/L；
所述磨料包括多邊形陶瓷磨粒和碳化硅磨粒，其中碳化硅磨粒粒徑為150μm，其在拋光液中的含量為0.45～1.5g/ml；多邊形陶瓷磨粒粒徑大小為1000～2500μm，其在拋光液中的含量為1.1～3.0g/ml。
2.一種用綠色環(huán)保混合化學機械拋光液的整體葉輪的拋光方法，其特征在于：整體葉輪在綠色環(huán)保混合化學機械拋光液中繞自身軸線做旋轉運動，通過綠色環(huán)保混合化學機械拋光液的化學與物理耦合作用，將其表面各部位的刀痕紋路去除；具體步驟如下：
(1)低速啟動整體葉輪，使旋轉速度控制在7～15rpm，時間為5～10min；
(2)綠色環(huán)保混合化學機械拋光液將整體葉輪完全浸沒，然后調節(jié)整體葉輪轉速，使其高速旋轉拋光，旋轉速度為110～180rpm，拋光時間為50～80min；拋光結束后，停止整體葉輪運動，并將其取出，用清水沖洗，擦干；檢測。
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