[發明專利]一種檢測納機電系統諧振器振動特性的方法

有效

• 申請號: 201910576743.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110286140B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 劉云;蘇繼杰;成堅;鄭幸;許羅婷;趙星龍;卓家靖;趙京山;易哲菁;肖青春
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍陸軍工程大學
• 主分類號: G01N23/2055
• 分類號: G01N23/2055;G01N23/04;G01H9/00
• 代理公司: 武漢宇晨專利事務所(普通合伙) 42001
• 代理人: 李鵬;王敏鋒

1.一種檢測納機電系統諧振器振動特性的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、將作為納機電系統諧振器梁結構的單晶二維材料制備好放于1000目銅網上；

步驟2、將放有單晶二維材料的銅網裝在樣品架上，通過樣品架將單晶二維材料傳送到真空腔室內，真空腔室抽真空；

步驟3、飛秒激光系統產生飛秒激光，飛秒激光經過分光鏡分為兩束，分別為第一束飛秒激光和第二束飛秒激光，第一束飛秒激光作為泵浦光經過光學延遲平臺入射位于真空腔室內的單晶二維材料，第二束飛秒激光經過倍頻儀后入射電子槍，電子槍輸出會聚電子探針脈沖，會聚電子探針脈沖入射位于真空腔室內的單晶二維材料，通過調節光學延遲平臺獲得不同的延遲時間下的菊池衍射圖像，成像探測系統監測單晶二維材料受激發后產生的菊池衍射圖像；

步驟4、將獲得的菊池衍射圖像進行晶面指數標定，可得到菊池衍射圖像里菊池線所對應的晶面指數，通過晶面指數獲得晶面的三維空間位置，根據菊池線獲得一維衍射強度位置分布圖，根據晶面在不同延遲時間下所對應的一維衍射強度位置分布圖獲得晶面的菊池線在不同延遲時間下的衍射強度位移隨時間變化的振動曲線，根據晶面的菊池線在不同延遲時間下的衍射強度位移隨時間變化的振動曲線得到晶面的傾斜角隨延遲時間變化的振動曲線，對傾斜角隨延遲時間變化的振動曲線經快速傅里葉變換，得到晶面的振動頻率和品質因數；

步驟5、將各晶面的振動頻率和品質因數匯總，根據晶面的三維空間位置，得出單晶二維材料的線性縱向振動和非線性橫向振動的振動頻率、品質因數。