[發(fā)明專利]一種石墨烯圖案的制作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910574912.2 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110217783A | 公開（公告）日： | 2019-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 丁阿飛;陶衛(wèi)東;胡緒瑞;范時鳴;王剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波大學(xué) |
| 主分類號： | C01B32/186 | 分類號： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 寧波誠源專利事務(wù)所有限公司 33102 | 代理人： | 徐雪波;王瑩 |
| 地址： | 315211 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石墨烯 圖案 載具 保護(hù)膜 襯底 去除 制作 光刻膠 微結(jié)構(gòu) 生長 加熱爐 保護(hù)膜溶液 腐蝕 操作過程 固化處理 樣品放置 未固化 涂覆 清洗 圖像 | ||
1.一種石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：包括以下步驟：
S1、在石墨烯生長襯底上利用光刻膠制作載具；
S2、按照設(shè)計圖像對載具進(jìn)行固化處理；
S3、去除載具中未固化的光刻膠，進(jìn)而獲取具有微結(jié)構(gòu)載具的第一樣品；
S4、將第一樣品放置在CVD加熱爐中，在微結(jié)構(gòu)載具的限制作用下，生成石墨烯圖案，同時光刻膠在石墨烯的生成過程中碳化而形成石墨烯圖案的骨架，進(jìn)而獲取第二樣品；
S5、在第二樣品的石墨烯上涂覆保護(hù)膜溶液，并加熱后，在第二樣品的上面生成保護(hù)膜，進(jìn)而獲取第三樣品；
S6、將第三樣品置于腐蝕石墨烯生長襯底的溶液中，進(jìn)而腐蝕石墨烯生長襯底，以獲取第四樣品；
S7、對第四樣品進(jìn)行清洗后放置在去除保護(hù)膜的溶液中，去除石墨烯圖案上的保護(hù)膜，進(jìn)而獲取具有骨架的石墨烯圖案。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：S7中，將第四樣品清洗后，可以先將清洗后的第四樣品固化在目標(biāo)基底上，再進(jìn)行保護(hù)膜的去除。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：S2中，利用飛秒激光雙光子聚合微納加工裝置對載具進(jìn)行光刻加工，以獲取具有生成石墨烯圖案空間的微結(jié)構(gòu)載具。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：S3中，將微結(jié)構(gòu)載具放入至無水乙醇中，進(jìn)而去除載具中未固化的光刻膠以獲取第一樣品。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：將第一樣品置于紫外燈下曝光，進(jìn)而對第一樣品上的微結(jié)構(gòu)載具進(jìn)行進(jìn)一步的固化。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一權(quán)利要求所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：所述石墨烯生長襯底為銅片或者鎳片。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一權(quán)利要求所述的石墨烯圖案的制作方法，其特征在于：所述保護(hù)膜溶液為PMMA溶液。
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