[發明專利]一種基于高品質因數全介質超表面的折射率傳感器及應用有效
| 申請號： | 201910573743.0 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110361361B | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 李強;田靜逸;呂俊;仇旻 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41;G01N21/17 |
| 代理公司： | 杭州之江專利事務所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 牛世靜 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 品質因數 介質 表面 折射率 傳感器 應用 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于高品質因數全介質超表面的折射率傳感器，其特征在于，包括透明襯底以及呈周期性陣列分布于透明襯底表面的超表面結構，該超表面結構采用全介質材料，為亞波長厚度；
所述超表面結構呈周期性陣列分布于透明襯底表面的橢圓結構，且相鄰兩個橢圓結構的長軸不重合，且不平行；
所述超表面結構沿X軸和Y軸方向呈周期性陣列分布，相鄰兩個橢圓結構的長軸與X軸或Y軸之間的夾角均相等，且方向相反；
每個橢圓結構長軸直徑為250～500nm，短軸直徑為80～150nm，且Y向排列周期為600～800nm，X向排列周期為500～700nm；
工作波長為1微米以下；
其工作波段為近紅外工作波段，超表面結構采用晶體硅；
所述超表面結構高度范圍為100-600nm。
2.一種權利要求1所述的基于高品質因數全介質超表面的折射率傳感器在檢測環境折射率的應用。
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