[發明專利]柔性PCB電磁微鏡、掃描儀和激光打標/雕刻機在審
| 申請號： | 201910573407.6 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110405339A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 賀思源;卡爾·馬克思·裴瑞雅瑟米 | 申請（專利權）人： | 賀思源;卡爾·馬克思·裴瑞雅瑟米 |
| 主分類號： | B23K26/082 | 分類號： | B23K26/082;B23K26/362 |
| 代理公司： | 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335 | 代理人： | 周文 |
| 地址： | 加拿大*** | 國省代碼： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微鏡 激光打標 雕刻機 鏡片 激光掃描儀 低成本 掃描儀 磁鐵 磁場 線圈施加電壓 鏡面 便于攜帶 高平坦度 光學孔徑 聚酰亞胺 柔性層 線圈層 準靜態 外部 對線 粘接 制造 垂直 驅動 英文 | ||
1.一種柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，包括：
柔性PCB結構，所述柔性PCB結構包括柔性層和線圈層；
鏡片，所述鏡片粘接在所述柔性PCB結構上；
外部磁鐵，所述外部磁鐵置于所述柔性PCB結構周圍，用于產生磁場；
對所述線圈層的線圈加電壓/電流，垂直于磁場的線圈產生驅動所述柔性PCB結構和鏡片旋轉的力。
2.如權利要求1所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，所述柔性層包括兩個扭轉梁、中間支座和兩個支撐墊，所述線圈層置于所述扭轉梁、中間支座和支撐墊上；
所述中間支座的兩端通過所述扭轉梁與對應的所述支撐墊相連。
3.如權利要求2所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，所述柔性PCB結構的基板材料為聚酰亞胺，兩個所述扭轉梁同軸設置。
4.如權利要求2所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，所述鏡片粘接在所述中間支座上。
5.如權利要求1所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，通過切割涂有金屬膜的硅晶片制造孔徑為1～10mm、曲率半徑≥10m的所述鏡片。
6.如權利要求1所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，所述電壓/電流為方波振蕩信號，每個振蕩周期的前半部分幅值的大小遵循準靜態旋轉波形。
7.如權利要求6所述的柔性PCB電磁微鏡，其特征在于，在漂移>5％之前，激光被調制為僅在穩定時間之后的每個振蕩周期的前半部分開啟，每個振蕩周期的后半部分不開啟。
8.一種掃描儀，其特征在于，包括：兩個如權利要求1-7中任一項所述的柔性PCB電磁微鏡；
兩個所述柔性PCB電磁微鏡呈正交放置。
9.一種激光打標/雕刻機，其特征在于，包括：如權利要求8所述的掃描儀、激光器和光學器件。
10.如權利要求9所述的激光打標/雕刻機，其特征在于，所述掃描儀的矢量掃描用于激光打標/雕刻。
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