[發明專利]檢測光學系統任意波長透射波前的方法有效
| 申請號： | 201910573002.2 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110307962B | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 張齊元;韓森;吳鵬;王全召;李雪園 | 申請（專利權）人： | 蘇州維納儀器有限責任公司 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知識產權代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 光學系統 任意 波長 透射 方法 | ||
1.一種檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一，利用4種波長為λ1～λ4的激光干涉儀分別對光學系統進行檢測，分別得到所述光學系統在波長為λ1～λ4的Zernike多項式Z1(λ1)、Z2(λ1)、……Zk(λ1)以及Z1(λ4)、Z2(λ4)、……Zk(λ4)；
步驟二，將步驟一得到的Zernike多項式代入公式：
式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，4，
當400nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤1000nm時，1≤X1≤4.9，5≤X2≤8.7，0.1≤X3≤1.4，8.3≤X1+X2≤10.6，
當300nm≤λ1≠…≠λm≠λn≤2500nm時，2.7≤X1≤3.6，6.2≤X2≤7.3，0.9≤X3≤1，9.8≤X1+X2≤10，
計算參數Ai、Bi、Ci和Di的值；
步驟三，將計算得到的Ai、Bi、Ci和Di的值代入公式(1)中，計算波長為λn的光學系統的Zernike多項式Zk(λn)；以及
步驟四，根據Zk(λn)擬合波長為λn的光學系統的透射波前。
2.根據權利要求1所述的檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于：
其中，所述檢測儀器為激光干涉儀。
3.根據權利要求1所述的檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于：
其中，所述Zernike多項式為Fringe Zernike多項式或Standard Zernike多項式。
4.根據權利要求1所述的檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于：
其中，所述光學系統為單波長系統、消色差系統以及復消色差系統中的任意一種。
5.根據權利要求1所述的檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于：
其中，所述光學系統為復消色差系統。
6.根據權利要求1所述的檢測光學系統任意波長透射波前的方法，其特征在于
其中，所述光學系統為圓形通光孔徑。
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