[發明專利]一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法

在審

• 申請號: 201910572259.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110286244A
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 董國材;張祥;張金龍
• 申請（專利權）人: 常州國成新材料科技有限公司
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10;G01N1/36
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法，其特征在于，所述設備包括：進樣室、直線傳輸段、圓形傳樣腔、抽真空裝置及充氣裝置，所述進樣室與所述直線傳輸段之間設置一第一閥門，以使所述樣室與所述直線傳輸段連通或隔斷，所述圓形傳樣腔與二對接裝置連接，并可通過所述對接裝置與兩個外部目標設備連接，所述轉移裝置還包括一與所述進樣室的抽真空裝置及一充氣裝置，所述抽真空裝置用于對所述轉移裝置抽取真空，以使所述轉移裝置為真空環境，所述充氣裝置為所述進樣室充氣，以使所述進樣室具有氣體環境。

2.根據權利要求1所述的一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法，其特征在于：所述的直線傳輸段有直線段和直線過渡段兩部分，直線段連接了進樣室和過渡段，并且具有和其他直線段連接的法蘭接口。

3.直線過渡段連接了直線段和圓形傳樣腔，具備短期存放多個樣品的停放臺。

4.根據權利要求2所述的一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法，其特征在于：所述的圓形傳樣腔與直線過渡段相連接。

5.根據權利要求3所述的一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法，其特征在于：所述的圓形傳樣腔內部設置有可自由轉動和伸縮旋轉的機械臂。

6.一種真空互聯樣品轉移裝置及轉移方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）二對接裝置分別與轉出目標設備、轉入目標設備連接，以使圓形傳樣腔通過所述對接裝置與所述外部目標設備連接；

（2）打開所述進樣室與所述直線傳輸段之間的第一閥門，抽真空裝置對所述轉移裝置抽取真空，以使轉移裝置為真空環境；

（3）打開所述轉移裝置的第二閥門，以使所述轉出目標設備與所述圓形傳樣腔相通，所述轉出目標設備為超高真空環境；

（4）使用樣品移動裝置將轉出目標設備的樣品轉移到圓形傳樣腔；

（5）關閉所述轉移裝置的第二閥門，打開所述轉移裝置第三閥門，以使所述轉入目標設備與所述圓形傳樣腔相通，所述轉入目標設備為超高真空環境；；

（6）使用樣品移動裝置將樣品從圓形傳樣腔轉移到轉入目標設備；

（7）關閉第三閥門，完成樣品轉移，與外部目標設備斷開連接。