[發(fā)明專利]一種太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910572234.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110289338B
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 贛州佳廣智能裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;F27B17/00
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐，包括爐體、石英舟、SiC槳和送料機(jī)構(gòu)，所述石英舟位于所述爐體內(nèi)，所述SiC槳的數(shù)量為兩個，且兩個所述SiC槳均位于所述石英舟的外側(cè)，一個所述SiC槳的一側(cè)與送料機(jī)構(gòu)固定連接，所述送料機(jī)構(gòu)固定安裝于所述爐體的一側(cè)，所述爐體內(nèi)開設(shè)有外圓環(huán)槽，所述外圓環(huán)槽的底部開設(shè)有內(nèi)圓環(huán)槽，所述內(nèi)圓環(huán)槽的數(shù)量為兩個。該太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐，通過加熱部位處于勻速變換狀態(tài)，即可提高加熱的均勻性，同時兩個SiC槳在轉(zhuǎn)動時，始終有一部分處于石英舟的底部，對石英舟起到支撐作用，因此也可以保證石英舟在加熱時，處于穩(wěn)定的狀態(tài)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐。

背景技術(shù)

太陽能光伏電池用于把太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能，目前地面光伏系統(tǒng)大量使用的是以硅為基底的硅太陽能電池。硅在使用之前，需要通過擴(kuò)散爐進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)。擴(kuò)散爐的進(jìn)出舟系統(tǒng)包括懸臂槳系統(tǒng)和軟著陸系統(tǒng)，懸臂槳系統(tǒng)是通過SiC槳攜帶石英舟和硅片進(jìn)入石英爐管后，就停留在石英爐管內(nèi)，直到工藝程序結(jié)束，SiC槳就攜帶舟和硅片慢慢回到原位，但是，該系統(tǒng)在加熱時，為了防止對SiC槳的損壞，因此SiC槳通常采用耐高溫材料制成，而SiC槳會包圍石英舟的側(cè)邊，導(dǎo)致該部分的加熱受阻，出現(xiàn)受熱不均勻的情況，同時石英舟在加熱時，爐體內(nèi)會產(chǎn)生大量的工藝氣體，氣體中的顆粒在上升過程中會附著在石英舟表面，在長時間的附著下，會導(dǎo)致石英舟表層變厚，導(dǎo)熱性能降低，影響對內(nèi)部硅體的加熱效果。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐，具備保證硅體加熱的均勻性和提高對硅體加熱效果的優(yōu)點，解決了硅體加熱不均勻和硅體加熱效果下降的問題。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐，包括爐體、石英舟、SiC槳和送料機(jī)構(gòu)，所述石英舟位于所述爐體內(nèi)，所述SiC槳的數(shù)量為兩個，且兩個所述SiC槳均位于所述石英舟的外側(cè)，一個所述SiC槳的一側(cè)與送料機(jī)構(gòu)固定連接，所述送料機(jī)構(gòu)固定安裝于所述爐體的一側(cè)，所述爐體內(nèi)開設(shè)有外圓環(huán)槽，所述外圓環(huán)槽的底部開設(shè)有內(nèi)圓環(huán)槽，所述內(nèi)圓環(huán)槽的數(shù)量為兩個，且兩個所述內(nèi)圓環(huán)槽均與爐體的內(nèi)腔連通，兩個所述內(nèi)圓環(huán)槽內(nèi)均滑動安裝有滑塊，兩個所述滑塊的同一側(cè)均固定安裝有連接弧板，兩個所述連接弧板的同一側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)動環(huán)板，兩個所述滑塊的內(nèi)側(cè)均固定安裝有弧形連接塊，且兩個弧形連接塊分別與兩個所述SiC槳的外側(cè)固定連接。

優(yōu)選的，所述SiC槳為半圓狀，兩個所述SiC槳以所述石英舟的軸線為中心呈180°對稱位于所述石英舟的外側(cè)，且兩個所述SiC槳分別位于所述石英舟外側(cè)的兩邊。

優(yōu)選的，所述SiC槳均通過電磁鐵分別與送料機(jī)構(gòu)和弧形連接塊固定連接，且兩個電磁鐵分別與兩個外部獨立電源連接。

優(yōu)選的，所述連接弧板的數(shù)量為兩個，且兩個所述連接弧板的厚度相同，均為所述外圓環(huán)槽厚度的一半，一個所述連接弧板與外圓環(huán)槽的外側(cè)接觸，另一個所述連接弧板與外圓環(huán)槽的內(nèi)側(cè)接觸，且兩個所述連接弧板的外側(cè)分別與相對應(yīng)的兩個所述滑塊的外側(cè)平齊。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動環(huán)板的一側(cè)均通過固定栓分別與兩個所述連接弧板固定連接，且與爐體的一側(cè)接觸。

本發(fā)明具備以下有益效果：

1、該太陽能光伏電池制造用擴(kuò)散爐，通過SiC槳在爐體內(nèi)的勻速轉(zhuǎn)動，在加熱時，可以始終保持石英舟的半側(cè)露于外部加熱，另外半側(cè)被SiC槳包圍，且兩部處于不斷的更替狀態(tài)，因此加熱部位處于勻速變換狀態(tài)，即可提高加熱的均勻性，同時兩個SiC槳在轉(zhuǎn)動時，始終有一部分處于石英舟的底部，對石英舟起到支撐作用，因此也可以保證石英舟在加熱時，處于穩(wěn)定的狀態(tài)。