[發明專利]一種冷卻背板

有效

• 申請號: 201910572087.2
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN112144034B
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 臧龍杰
• 申請（專利權）人: 昆山世高新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明為了解決現有技術中冷卻背板頻繁拆卸易出現泄漏的技術問題，提供了一種冷卻背板。冷卻背板的本體內部設置有數個獨立的冷卻腔室，每一個冷卻腔室均具有兩個連通到外部的開口；本體的外部對應每一個開口處均采用螺絲鎖附有一個與冷卻腔室連通的接頭，在拆卸靶材和冷卻背板時只需將接頭上的螺絲卸下，即可實現冷卻背板與冷水源供應設備的脫離。在接頭與本體之間采用密封件實現密封，使得冷卻背板在頻繁拆卸后依舊能保持較佳的密封性能。

技術領域

本發明屬于液晶、半導體、太陽電池板鍍膜制造生產技術領域，涉及一種用于冷卻的背板。

背景技術

在液晶、半導體、太陽電池板鍍膜成膜過程中，靶材受到高速荷能粒子連續轟擊，會產生高溫，易造成靶材損壞。于是需要通過冷卻背板，對靶材持續進行冷卻。冷卻背板內部具有供冷水源流動的腔體，循環冷水源通過熱交換器將把靶材的熱量交換出去，實現控制靶材溫度的目的。

靶材壽命有限，靶材在使用設定的次數后，需要進行更換。靶材綁定在冷卻背板上，冷卻背板需同靶材一同拆卸。但頻繁拆卸冷卻背板會導致背板的焊接接頭處出現泄漏，不僅影響靶材的冷卻效率，還導致鍍膜設備的使用存在較大風險。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種可便捷式拆卸、密封效果好，能防止冷卻源溢出的冷卻背板。

本發明提供的技術方案如下：

一種冷卻背板，包括本體，所述本體內部設置有數個獨立的冷卻腔室，每一個冷卻腔室均具有兩個連通到外部的開口；所述本體的外部對應每一個所述開口處均采用螺絲鎖附有一個與所述冷卻腔室連通的接頭；所述接頭與所述本體之間采用密封件進行密封。

在本技術方案中，在冷卻背板外部的接頭為可拆卸式，如此在拆卸靶材和冷卻背板時只需將接頭上的螺絲卸下，即可實現冷卻背板與冷水源供應設備的脫離。

本發明提供的一種冷卻背板，還包括以下附加技術特征：

進一步的是，所述冷卻腔室的橫截面為正方形或者長方形結構。

進一步的是，數個所述冷卻腔室并列設置。

進一步的是，所述接頭包括與冷水源供應設備連接的接插部和與本體連接的固定部，所述接插部與固定部中共設有與所述冷卻腔室連通的通路，所述密封件嵌裝在所述固定部對應所述本體的一面。

進一步的是，所述接插部的外部直身上設置有一圈凹槽。

進一步的是，所述密封件為O型圈。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1.將原先焊接式的接頭改成可拆卸式，實現了靶材和冷卻背板的快速拆卸；

2.在接頭與本體之間采用密封件實現密封，使得冷卻背板在頻繁拆卸后依舊能保持較佳的密封性能；

3.將冷卻腔室設計成方形，不僅便于CNC加工，還便于腔室變形量的計算；精準的變形量計算不僅能夠實現冷卻背板的物盡其用，還能夠實現冷卻背板的及時更換。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1是實施例一中公開的冷卻背板本體的剖視圖；

圖2是實施例一中公開的冷卻背板的剖視圖；

圖3是實施例一中公開的接頭的剖視圖；

圖4是實施例二中公開的冷卻背板本體的剖視圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

實施例一