[發(fā)明專利]一種具有高聲電轉(zhuǎn)換效率的柔性聲傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910571790.1
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110311032B
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武小童;魏岑;何兒;王富軍;王璐
• 申請（專利權(quán)）人: 東華大學
• 主分類號: H01L41/113
• 分類號: H01L41/113;H01L41/22;H01L41/25
• 代理公司: 上海統(tǒng)攝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31303
• 代理人: 辛自豪

1.一種具有高聲電轉(zhuǎn)換效率的柔性聲傳感器，其特征是：具有復(fù)合層結(jié)構(gòu)，復(fù)合層為三層，包括依次相鄰的上電極層、壓電膜層和下電極層；上電極層、壓電膜層和下電極層的厚度分別為5~20μm、30~100μm和0.5~3cm；壓電膜層為PVDF膜層，PVDF膜是采用靜電紡絲方法制得的；下電極層為導(dǎo)電水凝膠層或?qū)щ娤鹉z層，下電極層上設(shè)有盲孔，且盲孔的孔口所在的下電極層的表面與壓電膜層結(jié)合，盲孔的孔口面積為0.79cm²，體積為0.55cm³，分布密度為1個/9cm²，盲孔的形狀為球缺狀、棱柱狀、棱臺狀、棱錐狀、圓臺狀或圓錐狀；柔性聲傳感器在分貝為80dB且頻率為220Hz的聲波下的最大電壓輸出為1.5~2.2mV/cm²。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高聲電轉(zhuǎn)換效率的柔性聲傳感器，其特征在于，上電極層為金屬鍍層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高聲電轉(zhuǎn)換效率的柔性聲傳感器，其特征在于，壓電膜層為摻雜多壁碳納米管和/或納米蒙脫土的PVDF膜層，多壁碳納米管和納米蒙脫土的摻雜量分別為0.03~0.1wt%和0.5~1.5wt%，摻雜多壁碳納米管和/或納米蒙脫土的PVDF膜是采用靜電紡絲方法制得的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高聲電轉(zhuǎn)換效率的柔性聲傳感器，其特征在于，壓電膜層與下電極層之間是通過粘合方式結(jié)合的。