[發明專利]插片機用水系統

在審

• 申請號: 201910571702.8
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110201962A
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 但漢滿
• 申請（專利權）人: 阜寧協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;H01L21/67;C02F1/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 閆曉欣

本發明涉及一種插片機用水系統，其包括緩存水箱；自來水供水通道，可為所述緩存水箱供水；插片水槽；側噴通道；具有側噴口，所述側噴口位于所述插片水槽內；水泵，用以將所述緩存水箱中的水泵入所述側噴通道；排污通道，用以排出所述插片水槽內的污水；以及自來水稀釋通道，用以輸送水至所述插片水槽內。上述插片機用水系統，通過設置自來水稀釋通道輸送水至插片水槽內，降低插片水槽內的污水濃度，緩解污水內的臟污對側噴通道的側噴口的堵塞，進而減少對側噴通道的側噴口進行清理的時間，提高插片機的插片效率。

技術領域

本發明涉及插片機領域，特別是涉及一種插片機用水系統。

背景技術

插片機用以在硅片清洗前將硅片裝入清洗花籃中。在此過程中，一般通過側噴通道對準硅片的兩側進行噴水，以使得硅片在水的作用下與相鄰的硅片分離，進而避免在插片過程中出現雙片或連片的現象。

然而,在插片機運行過程中，側噴通道的側噴口處容易堵塞。此時需使得插片機停止工作，以對側噴通道的側噴口進行清理，影響插片機的插片效率。

發明內容

基于此，有必要針對提供一種可以有效避免側噴通道的側噴口堵塞的插片機用水系統。

一種插片機用水系統，包括：

緩存水箱；

自來水供水通道，可為所述緩存水箱供水；

插片水槽；

側噴通道；具有側噴口，所述側噴口位于所述插片水槽內；

水泵，用以將所述緩存水箱中的水泵入所述側噴通道；

排污通道，用以排出所述插片水槽內的污水；以及

自來水稀釋通道，用以輸送水至所述插片水槽內。

上述插片機用水系統，通過設置自來水稀釋通道輸送水至插片水槽內，降低插片水槽內的污水濃度，緩解污水內的臟污對側噴通道的側噴口的堵塞，進而減少對側噴通道的側噴口進行清理的時間，提高插片機的插片效率。

在其中一個實施例中，還包括：

第一濃度監測裝置，用以監測所述插片水槽內的污水濃度；

第一電磁閥，設于所述自來水稀釋通道上；以及

控制系統，可接收所述第一濃度監測裝置的監測信息并判斷所述插片水槽內的污水是否需要稀釋；所述控制系統在判斷所述插片水槽內的污水需要稀釋時，控制所述第一電磁閥打開；所述控制系統在判斷所述插片水槽內的污水不需要稀釋時，控制所述第一電磁閥關閉。

在其中一個實施例中，所述第一濃度監測裝置為水質檢測器或濃度檢測器。

在其中一個實施例中，還包括：

第一水凈化裝置，用以凈化所述插片水槽內的污水；

第一水凈化通道，用以將所述插片水槽內的污水輸送至所述第一水凈化裝置；以及

第一凈化水輸送通道，用以將所述第一水凈化裝置凈化的水輸送至所述插片水槽。

在其中一個實施例中，還包括：

第二水凈化裝置，用以凈化所述插片水槽內的污水；

第二水凈化通道，用以將所述插片水槽內的污水輸送至所述第二水凈化裝置；以及

第二凈化水輸送通道，用以將所述第二水凈化裝置凈化的水輸送至所述緩存水箱。

在其中一個實施例中，還包括：

第二電磁閥，設于所述第二水凈化通道上；

第三電磁閥，設于所述排污通道上；