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[發明專利]一種燒結爐及鉭電容的燒結方法在審

專利信息
申請號: 201910559686.0 申請日: 2019-06-25
公開(公告)號: CN110170651A 公開(公告)日: 2019-08-27
發明(設計)人: 邵晨晨;馬遠;廖朝俊;秦鐘華;陳育松;廖均 申請(專利權)人: 江蘇振華新云電子有限公司
主分類號: B22F3/10 分類號: B22F3/10;H01G9/00;H01G9/052
代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 趙李
地址: 225000 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 連通 鉭電容 氣體循環泵 燒結腔 輸入端 氣體加熱器 冷凝器 燒結爐 輸出端 進氣管路 真空泵組 燒結 進氣口 遷移 燒結工藝過程 工藝過程 生產效率 粘合劑 工藝流程 出氣口 良品率 氧接觸 氧雜質 去除 申請
【權利要求書】:

1.一種燒結爐,其特征在于,包括:進氣管路、氣體循環泵、氣體加熱器、燒結腔、冷凝器和真空泵組;

所述進氣管路與所述氣體循環泵的輸入端連通;所述進氣管路用于充入氣體至所述氣體循環泵,以通過所述氣體循環泵將所述氣體輸入所述氣體加熱器;

所述氣體循環泵的輸出端與所述氣體加熱器的輸入端連通;所述氣體循環泵用于在開啟時,將加熱后的氣體通入到所述燒結腔并流經位于所述燒結腔內的鉭電容表面,以通過高溫氣體帶走所述鉭電容內的粘合劑后流入所述冷凝器;

所述氣體加熱器的輸出端與所述燒結腔的進氣口連通;所述氣體加熱器用于對進入的所述氣體進行加熱,并將加熱后的所述氣體輸入所述燒結腔;

所述燒結腔的出氣口與所述冷凝器的輸入端連通;所述燒結腔中盛放有攜帶有粘合劑的鉭電容,所述燒結腔用于對除去所述粘合劑后的鉭電容進行真空高溫燒結;

所述冷凝器的輸出端與所述氣體循環泵的輸入端連通;所述冷凝器用于將所述氣體所攜帶的所述粘合劑冷凝在所述冷凝器中,并將冷卻后的氣體輸出至所述氣體循環泵,進行氣體循環以及還用于在所述燒結爐完成燒結后對所述燒結腔流出的高溫氣體進行降溫冷卻;

所述真空泵組與所述燒結腔連通;所述真空泵組用于對所述燒結腔進行抽真空。

2.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,還包括出氣管路和第一閥門,所述出氣管路的輸入端與所述第一閥門的輸出端連通,所述第一閥門的輸入端分別與所述冷凝器和所述氣體循環泵連通。

3.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,所述進氣管路包括第一進氣管、第二進氣管和第二閥門,所述第一進氣管和所述第二進氣管均與所述第二閥門的輸入端連通;所述第二閥門的輸出端分別與所述冷凝器和所述氣體循環泵連通;

所述第一進氣管用于與空氣氣源連接;

所述第二進氣管用于與氬氣氣源連接。

4.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,所述燒結腔內設有電容器托盤;

所述電容器托盤用于盛放所述鉭電容。

5.根據權利要求4所述的燒結爐,其特征在于,所述燒結腔內還設有燒結加熱器;

所述燒結加熱器設置在所述電容器托盤邊緣;

所述燒結加熱器用于對置于所述電容器托盤上的所述鉭電容進行加熱。

6.根據權利要求5所述的燒結爐,其特征在于,所述燒結腔內還設有保溫層。

7.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,還包括安全閥,所述安全閥與所述燒結腔連通,用于在所述燒結腔內的氣壓超過預設閥值時,排出所述燒結腔內的氣體。

8.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,所述冷凝器上還設有第三閥門;

所述第三閥門用于在開啟時對所述冷凝器中的固液態凝結物進行清理。

9.根據權利要求1所述的燒結爐,其特征在于,所述真空泵組包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵;

所述第一真空泵的輸出端與所述第二真空泵的輸入端連通,所述第二真空泵的輸出端與所述第三真空泵的輸入端連通;所述第三真空泵的輸出端與所述燒結腔連通。

10.一種鉭電容的燒結方法,其特征在于,所述方法應用于如權利要求1-9任意一項所述的燒結爐,所述方法包括:

將壓制好的含粘合劑的鉭電容放置在燒結腔中;

對所述燒結腔抽真空后再通入氣體;

開啟所述氣體加熱器,將進入所述氣體加熱器中的所述氣體加熱到第一預設溫度范圍;

開啟所述氣體循環泵,將加熱后的所述氣體通入到所述燒結腔并流經所述鉭電容表面,以通過高溫氣體帶走所述鉭電容內的粘合劑后流入所述冷凝器;

對所述燒結腔再次抽真空;

對再次抽真空的所述燒結腔內的所述鉭電容進行加熱,以完成對所述鉭電容的燒結。

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