[發明專利]電源供應電路與操作方法

有效

• 申請號: 201910559569.4
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN112152452B
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 賴威勛;王健宇;邱柏晟;林韋丞
• 申請（專利權）人: 臺達電子工業股份有限公司
• 主分類號: H02M3/158
• 分類號: H02M3/158
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李南山;黃艷

一種電源供應電路，包含一儲能元件、一第一開關、一電壓信號轉換器、一第二開關、一第三開關及一電源供應器。第一開關與儲能元件耦接于第一電壓輸出端點。電壓信號轉換器分別與儲能元件及第一開關耦接于第一轉換器輸出端點及第二轉換器輸出端點。第二開關與第一開關耦接。第三開關與第二開關耦接于第二電壓輸出端點。電源供應器與第二開關及第三開關耦接。儲能元件、第一開關、該電壓信號轉換器、第二開關、第三開關與電源供應器是用以協同操作而于第一電壓輸出端點與第二電壓輸出端點產生輸出電壓。一電源供應電路的操作方法亦在此公開。

技術領域

本公開關于一種電源供應電路，特別涉及一種具可變輸出電壓的電源供應電路。

背景技術

在目前半導體工藝領域的等離子體系統中(如濺鍍、蝕刻等)，現行技術使用負壓電源及與其電壓等比例、相依式的正壓電源搭配作脈沖電源輸出，以周期性抑制于靶材表面產生的電弧。然而，對于需調整正壓電源的電壓電平以符合不同工藝與濺鍍材料的應用，現有固定電壓比例、脈沖頻率輸出的正壓無法有效率抑制電弧的產生，造成濺鍍速率慢及薄膜品質不佳等問題。

發明內容

本公開的一實施例涉及一種電源供應電路，該電源供應電路包含一儲能元件、一第一開關、一電壓信號轉換器、一第二開關、一第三開關及一電源供應器。該第一開關的一第一端點與該儲能元件的一第一端點耦接于一第一電壓輸出端點。該電壓信號轉換器包含一第一轉換器輸出端點以及一第二轉換器輸出端點，其中該儲能元件的一第二端點耦接該第一轉換器輸出端點，該第一開關的一第二端點耦接該第二轉換器輸出端點。該第二開關的一第一端點與該第一開關的該第二端點耦接。該第三開關的一第一端點與該第二開關的一第二端點耦接于一第二電壓輸出端點。該電源供應器的一第一端點與該第二開關的該第一端點耦接，該電源供應器的一第二端點與該第三開關的該第二端點耦接。該儲能元件、該第一開關、該電壓信號轉換器、該第二開關、該第三開關與該電源供應器是用以協同操作而于該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點產生一輸出電壓。

本公開的另一實施例涉及一種電源供應電路，該電源供應電路包含一儲能元件、一第一開關、一電壓供應器、一第二開關、一第三開關。該儲能元件用以接收來自一電壓信號轉換器的輸出電壓并產生一儲能電壓。該第一開關耦接該儲能元件于一第一電壓輸出端點。該電壓供應器用以產生一供應電壓。該第二開關耦接于該電壓供應器與一第二電壓輸出端點之間。該第三開關耦接于該第二開關于該第二電壓輸出端點，并與該電壓供應器及該第一開關耦接。該第一開關及該第二開關用以分別導通，使得該電壓供應器、該第一開關與該第二開關形成一第一回路而于該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該供應電壓。第三開關用以導通，使得該儲能元件、該第三開關與該電壓信號轉換器形成一第二回路而于該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該儲能電壓。

本公開的另一實施例涉及一種電源供應電路的操作方法，該方法包含以下步驟：通過一控制信號產生電路產生一第一控制信號、一第二控制信號及一第三控制信號，以及分別響應于該第一控制信號、該第二控制信號及該第三控制信號選擇性導通一第一開關、一第二開關與一第三開關。其中當該第一開關與該第三開關關斷時，該第二開關響應于該第二控制信號導通，使得一儲能元件經由與該第二開關所形成的回路輸出一負電壓作為一輸出電壓，以及當該第二開關關斷時，該第一開關及該第三開關分別響應于該第一控制信號與該第三控制信號導通，使得一電壓供應器經由與該第一開關及該第三開關所形成的回路輸出一正電壓作為該輸出電壓。

附圖說明

為讓本公開的上述和其他目的、特征、優點與實施例能更明顯易懂，說明書附圖的說明如下：

圖1為依據本公開一實施例所示出的一種電源供應電路的示意圖；

圖2為依據本公開一實施例所示出的多個多個控制信號及輸出電壓的示意圖；

圖3為依據本公開一實施例所示出的一種電源供應電路運行時的示意圖；以及

圖4為依據本公開一實施例所示出的一種電源供應電路操作方法的流程圖。