[發(fā)明專利]一種用于空心陰極束流測量的L型平面探針

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910558910.4
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN110402004B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 湯海濱;劉一澤;魯超;章喆;王一白;任軍學
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00;G01R19/00
• 代理公司: 北京航智知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11668
• 代理人: 黃川;史繼穎

1.一種用于空心陰極束流測量的L型平面探針，其特征在于，包括：內(nèi)表面設(shè)有凸臺的保護環(huán)，內(nèi)表面和外表面都設(shè)有凸臺的前陶瓷絕緣環(huán)，外表面設(shè)有凸臺的鎢蓋，與所述鎢蓋電性連接的收集器，內(nèi)表面和外表面都設(shè)有凸臺的后陶瓷絕緣環(huán)，與所述保護環(huán)電性連接、固定連接且內(nèi)表面設(shè)有兩個凸臺的密封螺蓋，以及與所述密封螺蓋電性連接且固定連接用于將所述L型平面探針固定在位移機構(gòu)上的夾具；其中，

所述前陶瓷絕緣環(huán)的外表面的凸臺與所述保護環(huán)的內(nèi)表面的凸臺互補，所述前陶瓷絕緣環(huán)被限制在所述保護環(huán)內(nèi)；

所述鎢蓋的外表面的凸臺與所述前陶瓷絕緣環(huán)的內(nèi)表面的凸臺互補，所述鎢蓋被限制在所述前陶瓷絕緣環(huán)內(nèi)；

所述鎢蓋過盈配合套接在所述收集器的頭部，所述收集器的桿部穿過所述后陶瓷絕緣環(huán)；

所述收集器的頭部與桿部之間設(shè)有凸臺，所述收集器的凸臺與所述后陶瓷絕緣環(huán)的內(nèi)表面的凸臺互補，所述收集器被限制在所述后陶瓷絕緣環(huán)內(nèi)；

所述后陶瓷絕緣環(huán)的外表面的凸臺與所述密封螺蓋的內(nèi)表面的一個凸臺互補，所述后陶瓷絕緣環(huán)被限制在所述密封螺蓋內(nèi)；所述密封螺蓋的內(nèi)表面的另一個凸臺將所述保護環(huán)限制在內(nèi)；

所述鎢蓋和所述收集器，通過所述前陶瓷絕緣環(huán)和所述后陶瓷絕緣環(huán)，與所述保護環(huán)和所述密封螺蓋相互絕緣。

2.如權(quán)利要求1所述的L型平面探針，其特征在于，所述密封螺蓋與所述保護環(huán)通過螺紋固定連接。

3.如權(quán)利要求1所述的L型平面探針，其特征在于，所述夾具的頭部將所述密封螺蓋限定在內(nèi)，所述夾具的頭部與所述密封螺蓋通過焊接固定連接；

所述夾具的桿部設(shè)有多個第一通孔，利用螺栓穿過所述第一通孔并利用螺母固定，將所述L型平面探針固定在位移機構(gòu)上。

4.如權(quán)利要求3所述的L型平面探針，其特征在于，還包括：與所述夾具的后端面固定連接的后密封蓋；所述后密封蓋覆蓋所述夾具的后端面、所述密封螺蓋的后端面、所述后陶瓷絕緣環(huán)的后端面以及所述收集器的后端面；

所述后密封蓋與所述密封螺蓋的后端面之間以及所述后密封蓋與所述后陶瓷絕緣環(huán)的后端面之間具有空隙，所述后密封蓋與所述夾具的后端面的接觸處設(shè)有線圈孔，所述線圈孔與所述空隙連通；所述收集器的接線與所述收集器的頭部電性連接，并纏繞于所述收集器的桿部上，從所述空隙和所述線圈孔引出；

所述后密封蓋與各所述第一通孔的對應(yīng)位置設(shè)置有第二通孔，利用螺栓穿過所述第一通孔與所述第二通孔并利用螺母固定，將所述L型平面探針固定在位移機構(gòu)上。

5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的L型平面探針，其特征在于，所述保護環(huán)的前端面、所述前陶瓷絕緣環(huán)的前端面以及所述鎢蓋的前端面位于同一平面內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1-4任一項所述的L型平面探針，其特征在于，所述保護環(huán)的接線與所述保護環(huán)電性連接；或者，

所述保護環(huán)的接線與所述密封螺蓋電性連接；或者，

所述保護環(huán)的接線與所述夾具電性連接。