[發(fā)明專利]超薄柔性硅太陽電池制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910557480.4
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN111916510A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳賢剛;楊苗;徐希翔
• 申請（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/18;C30B29/06;C30B33/10
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11662
• 代理人: 孟德棟

1.一種超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于：包括：

提供硅片；

將所述硅片浸入化學(xué)溶液中進(jìn)行表面拋光，形成拋光硅片；

將所述拋光硅片浸入堿液和掩膜顆粒的懸浮液中，進(jìn)行化學(xué)制絨。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述化學(xué)溶液為KOH或NaOH溶液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述化學(xué)溶液為HNO₃和HF的混合溶液。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述將所述硅片浸入化學(xué)溶液中進(jìn)行表面拋光為兩步：

提供所述硅片浸入到所述化學(xué)溶液為KOH或NaOH溶液中，形成堿拋光硅片；

提供所述堿拋光硅片浸入到所述化學(xué)溶液為HNO₃和HF的混合溶液中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述將所述硅片浸入化學(xué)溶液中進(jìn)行表面拋光為兩步：

提供所述硅片浸入到所述化學(xué)溶液為HNO₃和HF的混合溶液中，形成酸拋光硅片；

提供所述酸拋光硅片浸入到所述化學(xué)溶液為KOH或NaOH溶液中。

6.根據(jù)權(quán)利要求2、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述的KOH或NaOH溶液的質(zhì)量濃度為10％～30％。

7.根據(jù)權(quán)利要求2、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述KOH或NaOH溶液的溫度為60℃～90℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求2、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述KOH或NaOH溶液參與拋光的反應(yīng)時間為10min～40min。

9.根據(jù)權(quán)利要求3、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述HNO₃和HF的混合溶液中HNO₃：HF的質(zhì)量比為20:1～200:1。

10.根據(jù)權(quán)利要求3、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述HNO₃和HF的混合溶液的溫度為8℃～35℃。

11.根據(jù)權(quán)利要求3、4、5中任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述HNO₃和HF的混合溶液參與拋光的反應(yīng)時間時間為10min～60min。

12.根據(jù)權(quán)利要求1-11任意一項所述超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述化學(xué)制絨中，所述堿液為KOH或NaOH溶液。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于：所述KOH或NaOH溶液的質(zhì)量濃度為0.5％～5％。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于：所述KOH或NaOH溶液的溫度為60℃～90℃。

15.根據(jù)權(quán)利要求1-14任意一項所述超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述化學(xué)制絨的時間為5min～25min。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-15任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，所述硅片的厚度為小于90μm。

17.根據(jù)權(quán)利要求1-16任意一項所述的超薄柔性硅太陽電池制備方法，其特征在于，掩膜顆粒的質(zhì)量濃度為2％～10％。