[發明專利]一種納米壓印模具、納米壓印裝置和納米壓印方法

有效

• 申請號: 201910555390.1
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN110262186B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 王健;李建;陳召;覃一鋒;張文余;黃東升
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 張筱寧

1.一種納米壓印模具，其特征在于，包括：納米壓印模板，與所述納米壓印模板緊密連接的密封腔體；

所述納米壓印模板用于對壓印膠進行壓印，且具有透氣性，使得在壓印過程中，該納米壓印模板的模具腔內的空氣擴散進入所述密封腔體；

所述密封腔體的側壁設置抽真空孔，使得進入到該密封腔體內的空氣通過所述抽真空孔排出；

所述納米壓印模板包括：透氣底板和與所述透氣底板緊密連接的透氣膜層；所述透氣底板遠離所述透氣膜層的一側設置有模具腔；所述透氣膜層與所述密封腔體緊密連接；

所述密封腔體設置在所述透氣膜層遠離所述透氣底板的一側，或者，所述密封腔體設置在所述透氣膜層的四周；

所述納米壓印模板還包括密封層，其中：

當所述密封腔體設置在所述透氣膜層遠離所述透氣底板的一側時，所述密封層設置在所述透氣膜層的四周；

當所述密封腔體設置在所述透氣膜層的四周時，所述密封層設置在所述透氣膜層遠離所述透氣底板的一側。

2.如權利要求1所述的納米壓印模具，其特征在于，所述密封腔體的內側壁具有排氣微通道，所述排氣微通道與所述抽真空孔連接，用于提供空氣的流動通道。

3.如權利要求1所述的納米壓印模具，其特征在于，所述透氣底板為柔性底板，材料包括硅酮、聚二甲基硅氧烷、聚丙烯酸、聚丙烯酯類、聚氨酯類、水凝膠中一種或組合物。

4.如權利要求1所述的納米壓印模具，其特征在于，所述模具腔的高深寬比的范圍在1：4至1：10之間。

5.如權利要求1所述的納米壓印模具，其特征在于，所述密封腔體的材料包括不銹鋼、銅、鋁合金、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯中的一種或組合物。

6.一種納米壓印裝置，其特征在于，包括：如權利要求1-5任一項所述的納米壓印模具；以及

壓印腔室；

涂覆機構，用于向位于所述壓印腔室內的基板的待制作膜層上涂覆壓印膠；

壓印機構，用于將所述納米壓印模具壓印在所述壓印膠上，以及將所述納米壓印模具從所述壓印膠上脫模。

7.一種采用權利要求1-5任一項所述的納米壓印模具進行納米壓印的方法，其特征在于，包括：

在基板的待制作膜層上涂覆壓印膠；

將納米壓印模板設置有模具腔的一側壓印在所述壓印膠上，所述模具腔內的空氣擴散進入密封腔體，并通過設置在所述密封腔體的側壁上的抽真空孔排出；

固化所述壓印膠，并將所述納米壓印模板從所述壓印膠上脫模。