[發明專利]氫化物氣相外延的鎵舟結構

有效

• 申請號: 201910554424.5
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN112126976B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 龐云玲
• 申請（專利權）人: 紫石能源有限公司
• 主分類號: C30B25/14
• 分類號: C30B25/14;C30B29/42
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張璐

1.一種氫化物氣相外延的鎵舟結構，包括舟體(1)，其特征在于，還包括：

所述舟體(1)的頂部設置鎵源入口(11)，所述舟體(1)內用于盛放液態鎵源(200)，所述舟體(1)內設置反應物出口管路(12)，所述反應物出口管路(12)的頂端(121)高于液態鎵源(200)的液面，所述反應物出口管路(12)的底端(122)穿出所述舟體(1)的底壁；以及

分氣盤(2)，所述分氣盤(2)設置在所述舟體(1)內的底壁上，在所述分氣盤(2)上設置氯化氫進口(21)，所述氯化氫進口(21)包括兩個并分別設置在所述分氣盤(2)的側邊的進口；

所述分氣盤(2)包括主管路(23)、與所述主管路(23)的上下兩端相連通的第一分支管路(24)，以及分別與相應的所述第一分支管路(24)相連通的第二分支管路(25)，其中，所述第二分支管路(25)與所述主管路(23)呈平行式設置；

所述分氣盤(2)還包括分別與相應的所述第二分支管路(25)的上下兩端相連通的第三分支管路(26)，其中，所述第三分支管路(26)與所述第一分支管路(24)呈平行式設置；

在各個所述第三分支管路(26)的頂端均呈等距式構造有多個氯化氫出口(22)；各個所述氯化氫出口(22)均位于液態鎵源(200)的液面的下方。

2.根據權利要求1所述的氫化物氣相外延的鎵舟結構，其特征在于，兩個所述氯化氫進口(21)呈相對式設置。

3.根據權利要求1至2中任一項所述的氫化物氣相外延的鎵舟結構，其特征在于，所述分氣盤(2)的水平截面的輪廓尺寸與所述舟體(1)的底壁的水平截面的輪廓尺寸相同。

4.根據權利要求1所述的氫化物氣相外延的鎵舟結構，其特征在于，所述鎵舟結構還包括設置在所述舟體(1)的外表面的加熱部件。

5.根據權利要求4所述的氫化物氣相外延的鎵舟結構，其特征在于，所述加熱部件包括沿所述舟體(1)的縱向進行螺旋盤繞的金屬加熱絲或紅外加熱絲。

6.根據權利要求1至2中任一項所述的氫化物氣相外延的鎵舟結構，其特征在于，所述鎵舟結構還包括與所述氯化氫進口(21)相連通的氯化氫進口管路(3)，其中，在所述氯化氫進口管路(3)上設置閥門(31)。